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主题：【讨论】激光共聚焦和其它3D形貌表征方法的比较

浏览0 回复3 电梯直达
alizs
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发表于：2008/11/18 22:41:32 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
感觉激光共聚焦最大的优势在于3D图像，能够全面反应试样表面形貌。

但是比如AFM，比如轮廓仪，都可以得到高度方向的信息。激光共聚焦和它们比较，有什么优点和缺点呢？

请大家来讨论讨论。
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2008/12/17 12:40:25 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
三者之间所应用的范围不一样。
一般来说，AFM只能进行微区的形貌表征，轮廓仪大部分是接触式的，较宏观，而LSCM正好填补了他们之间的空白区域。
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alizs
alialili
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2008/12/19 8:40:55 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
嗯，谢谢您的意见。

另外，轮廓仪的测试结果是二维的，而confocal的测试结果是三维的。所以如果要测试整个面上的粗糙度，轮廓仪是不行的，而confocal则可以。（想比较而言，粗糙度仪也可以测量面粗糙度，但是测量范围太大，最小都有3cm左右，所以不适合微细加工的样品）
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v2810587
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2014/1/24 16:54:46 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
精度，分辨率，都是难以比拟的
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