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主题：【求助】SEM/EDS仪器测量参数与TEM/EDS仪器测量参数比较

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genghong2006
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发表于：2008/12/18 11:06:56 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
本人最近做大气颗粒物的SEM和TEM观测，SEM和TEM仪器上都配有EDS，SEM用的是日本产JEOL JSM-6390-SEM，TEM用的JEOL的JEM-2100。在做SEM/EDS时加速电压：10KV，数据获取时间：10秒，beam电流：10nA，beam直径：100nm；而做TEM/EDS时，测量人员告诉我加速电压200KV，数据获取时间20秒，beam电流120000nA，beam直径0.5nm。同样是EDS测量，为什么TEM/EDS与SEM/EDS会有如此大的悬殊呢？它们获得的EDS结果哪个更可靠呢？我的想法是TEM获取细颗粒图像时为提高分辨率，使用200KV的加速电压，而做EDS时是不是另有一套参数啊？可能问题比较初级，让各位见笑了，但基础的东西往往是最重要的，恳请高人指点。谢谢！
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2008/12/18 14:00:08 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
补充一下，还有一个出射角（take-off angle）的问题：SEM/EDS为35度，而TEM/EDS为18.7度，为什么会不一样呢？谢谢！
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shxie
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2008/12/19 9:55:19 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个问一下扫描电镜版的专家Tao吧，他应该能给你专业的回答。
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genghong2006
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2008/12/19 10:36:44 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
多谢专家的指点。
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earthli
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2008/12/20 14:36:17 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不知道你是否找到懂技术方面的人的答案，
但是关于这个答案我有一些看法，仅此参考：
这SEM和TEM在实际上，两者获得能谱原理是一样的，
两者有不同可能有几个方面：
1）SEM的beam太强，很容易破坏颗粒物，如果你样品镀了膜更是不能比较。
这两者虽然你选择的差不多，但是SEM的的BEAM太大，和TEM能进行有效控制完全不同。再加上，两者的发射源也不同。
2）我想你用EDS，最后应该用半定量这个说法来比较，他们应该有一个范围的差别，如果作定量的比较，从技术角度等，觉得不太可能。
3）样品厚度啊，真空条件也是一个因素。
4）你在SEM上用的hoder和TEM肯定是不一样的。这些HODER的材料也会影响到EDS的成分的差别。
希望这些对你进一步思考你的样品有帮助。
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