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主题：【求助】硅样品的制备

浏览0 回复6 电梯直达

ivy1128

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发表于：2008/12/30 15:12:13 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我想请问一下，做硅片样品时，溶液怎么制备？
我们是硝酸:氢氟酸=1：1溶解的
我想请问一下，你们都怎么做的，以及溶解温度控制在多少？
谢谢大家！

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2008/12/30 16:28:30 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

自己顶一下，
高手说一下呀.
还有容样时用什么纯度的酸，谢谢了呀

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nps

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2008/12/30 20:11:48 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 ivy1128 发表:
我想请问一下，做硅片样品时，溶液怎么制备？
我们是硝酸:氢氟酸=1：1溶解的
我想请问一下，你们都怎么做的，以及溶解温度控制在多少？
谢谢大家！

硅片样品的表面金属杂质还是总体金属杂质？处理方法都不一样的，可以肯定一点，HNO₃:HF=1：1浓度肯定是高了...
其他的不能多说了...

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醉卧红尘

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2008/12/31 16:19:27 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

呵呵，不好意思，我没有做过纯硅样品，只是在其它样品中含有硅。
我是用HNO3 5ml
HF 0.5ml
微波消解，180度，30min，
HNO3 优级纯
HF MOS
不知道有没有用

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luckyfox

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2009/1/4 20:56:36 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 nps 发表:
原文由 ivy1128 发表:
我想请问一下，做硅片样品时，溶液怎么制备？
我们是硝酸:氢氟酸=1：1溶解的
我想请问一下，你们都怎么做的，以及溶解温度控制在多少？
谢谢大家！

硅片样品的表面金属杂质还是总体金属杂质？处理方法都不一样的，可以肯定一点，HNO₃:HF=1：1浓度肯定是高了...
其他的不能多说了...

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