原文由 renxin 发表:
鏡筒內有很多光圈﹐對於鎢絲的鏡筒﹐最後的一個最重要﹐一般叫物鏡光圈或最終光圈﹐這個大家都很明白。
最原始的物鏡光圈位置是在物鏡極靴的最底部﹐也就是FEI的設計﹐這種設計使得光圈成為最靠近樣本的光學部件﹐所以很容易被污染。
虛擬光圈是指將物鏡光圈提高位置到鏡筒當中﹐物鏡以上﹐一級和二級電磁透鏡以下﹐電子束通過這個虛擬光圈﹐將一個模擬的束斑打在樣本上﹐效果和真實的極靴底部的光圈產生的束斑一樣﹐但是污染大大地減少了﹐還有束斑的掃描角度大大增加﹐非常適合大景深的廣角觀察。
ZEISS(LEO)是最早使用這種設計的﹐日本的廠家也跟上﹐像HITACHI﹐JEOL﹐TOPCON。
不明白的是﹐FEI是最有名的可變壓力電鏡廠商﹐他們的商標是環掃﹐用環掃觀察樣本是最容易污染樣本室內的任何部件的了﹐但是FEI仍然死抱著他的老式光圈不放。
谢谢renxin大侠,这个倒让我想起,我们曾经购买加热台的时候问及污染的问题,FEI就干脆说不行,而日本电子则说没有问题(不过我说的是透射),是不是这个原因?
另外,这个虚拟光圈是不是就是一个电磁透镜或者电磁过滤场?能简单讲一下这里面的构造吗?
还有,最近捷克的TESCAN进入中国市场,因为是Philips的OEM而有了比较好的技术和相对便宜的价格,但用户用下来反应高压不稳定,不知道renxin大侠对此有什么了解呢?