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主题：【求助】：Hiden质谱仪切换用气时真空度发生很大变化是什么原因

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zhangchm2003
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发表于：2009/02/23 21:55:51 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
急！我在用一台Hiden质谱仪，当我通入Ar时真空度为2.8 E-6,但当我切换到H2(5%)-Ar时，真空度狂升到1.5 E-5,求教各位大虾这是什么原因造成的？
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2009/2/25 13:33:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
楼主，真空度降低是在切换的短时间还是切换后一直是这样？
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zhangchm2003
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2009/2/26 21:24:58 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
气体切换后长时间内都是这样，真空度偏高。
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戈壁明珠
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2009/3/3 11:57:17 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 zhangchm2003 发表:
气体切换后长时间内都是这样，真空度偏高

楼主，您的真空度指示用的是真空规吧，这个测量时一般是以空气校准，您使用的气体发生变化后，此时的真空指示会有较大误差。
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2009/3/5 14:22:21 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
通常真空计是按照Ar来校准的,也有用空气或者N2的. 规管的测量值同气体种类有关,一般真空仪表有一些修正参数可以设置. 建议修改相关参数后再看看. 但是你的偏差达到了一个数量级似乎太大了,可能还有其他原因.
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nod238
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2009/11/4 17:25:16 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
通常分子泵对h2的抽速较小，有没有可能是H2引起的真空压力上升？
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eastchanging
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2011/5/21 15:05:22 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是哪款型号？规管和分子泵分别是哪个厂家的，哪个型号。3#4#和5#都说得有道理。分子泵做得最好的是Pfeiffer,对H2的抽速也很高。
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