快速导航采购仪器提醒

扫描电镜（SEM/EDS）

版主:

入住本版

专家:

仪器信息网

居民列表

仪器社区 > 显微镜 > 扫描电镜（SEM/EDS）帖子详情

快速回复发表新帖最新帖

返回列表

主题：【求助】求教SEM的景深

浏览0 回复3 电梯直达

webaby_1

结帖率：

100%

关注：0 |粉丝：0

新手级：新兵

发表于：2009/03/13 17:54:43 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

请教一个问题，SEM的景深是多少，与什么因素有关？不考虑品牌因素。

能否给出下列放大倍数的景深范围？

钨灯丝、场发射，
5000x,10000x,30000x。
场发射，
50000x,100000x,300000x。

谢谢。

0
赞贴
3
回帖
0
收藏
0
拍砖
版主
招募

为您推荐

近期热榜

热门活动

您可能想找: 扫描电镜（SEM）询底价

选参数看心得找厂商查方案

专属顾问快速对接

立即提交

相关阅读

春天的桃子

禁止发帖修改昵称

ID：dct1983

行业：其他

积分：0升级还需100积分

声望：0升级还需100声望

注册时间：0000-00-00

最后登录时间：0000-00-00

进入iLog 私信关注

结帖率：

100%

关注：0 |粉丝：0

新手级：新兵

2009/3/13 20:57:56 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

景深
各个电镜是不一样的.这是各个厂家的技术.

赞贴

拍砖

fengyonghe

禁止发帖修改昵称

ID：fengyonghe

行业：其他

积分：0升级还需100积分

声望：0升级还需100声望

注册时间：0000-00-00

最后登录时间：0000-00-00

进入iLog 私信关注

结帖率：

100%

关注：0 |粉丝：0

新手级：新兵

2009/3/16 13:48:05 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 webaby_1 发表:
请教一个问题，SEM的景深是多少，与什么因素有关？不考虑品牌因素。

能否给出下列放大倍数的景深范围？

钨灯丝、场发射，
5000x,10000x,30000x。
场发射，
50000x,100000x,300000x。

谢谢。

焦深计算公式
L= ±[(r/M)-d]/2α
L: 焦深 r: 显像管最小分辨距离 M：放大倍数 d：入射电子束直径 2α：物镜孔径角。
从上面的式子可以看出影响焦深的因素，其中隐含了工作距离w。物镜孔径角与工作距离和入射电子束直径有关。由于r（显像管的分辨率）和2α都是未知数，实际上不能计算。焦深也只是个人的视觉感受，还是直观的测量一下为好。

赞贴

拍砖

Last edit by fengyonghe

fengyonghe

禁止发帖修改昵称

ID：fengyonghe

行业：其他

积分：0升级还需100积分

声望：0升级还需100声望

注册时间：0000-00-00

最后登录时间：0000-00-00

进入iLog 私信关注

结帖率：

100%

关注：0 |粉丝：0

新手级：新兵

2009/3/18 11:13:51 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 fengyonghe 发表:
原文由 webaby_1 发表:
请教一个问题，SEM的景深是多少，与什么因素有关？不考虑品牌因素。

能否给出下列放大倍数的景深范围？

钨灯丝、场发射，
5000x,10000x,30000x。
场发射，
50000x,100000x,300000x。

谢谢。

焦深计算公式
L= ±[(r/M)-d]/2α
L: 焦深 r: 显像管最小分辨距离 M：放大倍数 d：入射电子束直径 2α：物镜孔径角。
从上面的式子可以看出影响焦深的因素，其中隐含了工作距离w。物镜孔径角与工作距离和入射电子束直径有关。由于r（显像管的分辨率）和2α都是未知数，实际上不能计算。焦深也只是个人的视觉感受，还是直观的测量一下为好。

本人又查阅了一些资料，显像管最小分辨距离为0.22mm-0.3mm, 孔径角的典型数值为10^-2—10^-3rad.利用公式L= ±[(r/M)-d]/2α可以计算出在有效放大倍率下的焦深数据。设d=3纳米，孔径角2α=10^-2 rad，r=0.3mm。计算焦深如下：
1000倍下为59.4微米。5000倍下为11.4微米。10000倍下为5.4微米。超过100000倍已经超过了有效放大倍率。不能计算。

赞贴

拍砖

Last edit by fengyonghe