各位前辈,大家好。我这里有一个样品,前一段时间做了x射线镜面反射曲线,但是不知道该怎么解释,查了各种资料,关于x射线镜面反射方面的资料很少,希望在这里能够得到各位前辈的指点,不胜感激。
我的样品为在蓝宝石衬底上生长的GaN基LED外延片,首先是在蓝宝石衬底上生长GaN缓冲层,然后生长1个微米左右的n型GaN,然后在生长150nm厚的InGaN/GaN超晶格结构层,然后再生长550nm左右的p型GaN。下图是在bede D1设备上做的x射线镜面反射曲线,不知道该怎么分析,希望能够得到各位前辈的不吝赐教。谢谢。