太恐怖了!
不知是碰到了样品还是碰到了样品台?
一般放样品之前都会尽量避免让样品的高度高于样品台,
如果样品不能处理而高于样品台,要在放入之前 估计样品超过样品台的高度,然后将样品的高度信息输入进SEM中,SEM会限高;
如果更换了不同尺寸的样品台,也要在HOLDER中重新选择样品台类型;
如果是自动失控,也可能是操作杆的失效吧,(源于儿时玩掌机的体会)大家不要笑我!
如果是碰到样品台 可能危害要小一些,因为看探头处,中间的窗口周围是用厚的金属片保护的,还有突出的螺钉固定;窗口是不会直接碰到样品台的;(当然我不是售后,这么分析只是希望楼主稍安勿燥)
如果是SEM本身的问题(软件/硬件),希望日本电子可以给出纠正措施,并给大家未发生的设备给出预防措施!
以上