原文由 sem_kuangren 发表:
最近我们老师调研FEI的Quanta场发射电镜Quanta650的标准分辨率为
1nm @30kV 3nm @1kV
老师提出低的加速电压下(5kV下)要达到2nm(要做某项研究), FEI的销售人员说他们Quanta650在2kV下的分辨率可达到2nm.
大家来评评, 我觉得有点可笑之极. 1nm---30kV 2nm----2kV 3nm----1kV ??? 而且又没有什么减速模式之类的, 公司的信誉在哪里呢.
![](https://simg.instrument.com.cn/bbs/images/brow/em09510.gif)
减速模式下2nm@2kv貌似是可以达到的,看FEI网站上quanta50的资料,减速模式下1kv可到2.3nm:
Electron Beam resolution
• High vacuum
- 0.8 nm at 30 kV (STEM)*
- 1.0 nm at 30 kV (SE)
- 2.5 nm at 30 kV (BSE)
- 3.0 nm at 1 kV (SE)
• High vacuum with beam deceleration option
- 3.0 nm at 1 kV (BD mode* + BSE)
- 2.3 nm at 1 kV (BD mode* + ICD*)
- 3.1 nm at 200 V (BD mode* + ICD*)
• Low vacuum
- 1.4 nm at 30 kV (SE)
- 2.5 nm at 30 kV (BSE)
- 3.0 nm at 3 kV (SE)
• Extended vacuum mode (ESEM)
- 1.4 nm at 30 kV (SE)