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主题：【求助】主机的SF6气体好像充多了（>0.4），不知有没有不良影响？（已解决）

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tygk98
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发表于：2009/08/04 08:38:45 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
想把主机的SF6气体放掉一些，不知从哪里放？
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2009/8/4 10:37:02 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 tygk98 发表:
想把主机的SF6气体放掉一些，不知从哪里放？


好像有一个专门的筏的，你在高压箱上找找。应该在最下面，有铝箔包着。
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2009/8/4 10:40:20 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 shxie 发表:
原文由 tygk98 发表:
想把主机的SF6气体放掉一些，不知从哪里放？


好像有一个专门的筏的，你在高压箱上找找。应该在最下面，有铝箔包着。


不是想放高压箱里的SF6。我是想放电镜主机下面的SF6气体。
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2009/8/4 10:42:43 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 tygk98 发表:
原文由 shxie 发表:
原文由 tygk98 发表:
想把主机的SF6气体放掉一些，不知从哪里放？


好像有一个专门的筏的，你在高压箱上找找。应该在最下面，有铝箔包着。


不是想放高压箱里的SF6。我是想放电镜主机下面的SF6气体。


主机下面？这个倒是没经验......
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2009/8/4 11:36:05 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
充高了还是放掉一些好。否则的话有些密封圈吃不消。以后会慢漏。我就遇到过。至于如何放，尽管机器的说明书有，我也看了维修人员放过，但自己还是不敢。最好请他们来放。
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2009/8/4 11:50:10 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 xuaiqun 发表:
充高了还是放掉一些好。否则的话有些密封圈吃不消。以后会慢漏。我就遇到过。至于如何放，尽管机器的说明书有，我也看了维修人员放过，但自己还是不敢。最好请他们来放。


我们地处西部边远地区，请日本电子的工程师来一趟，至少要等一个星期。放一下气还要请人家来，恐怕不太现实。
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2009/8/4 11:59:30 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 xuaiqun 发表:
充高了还是放掉一些好。否则的话有些密封圈吃不消。以后会慢漏。我就遇到过。至于如何放，尽管机器的说明书有，我也看了维修人员放过，但自己还是不敢。最好请他们来放。


能否告诉我，放气阀的具体位置在什么地方？谢谢！
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xuaiqun
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2009/8/4 12:46:23 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
2010的我不了解。但顺着气路找，应该可以找到。平常在C位置（刻线对着）。把旋钮往后拉一点点，然后顺时针转，当刻线对到L（leak）位置时，就应该开始放气了。放时不要松手，压力到了后，尽快转回C位置。我只是纸上谈兵。自己没有放过。如有不当，请原谅。
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2009/8/4 17:01:49 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
电镜主机的SF6气体压力应保持在0.3~0.35之间。若压力过大，可将充气嘴从管子上卸下，然后插入机身放气。
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