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主题：【求助】STEM EDS 的probe size怎麼估算 (FEI TF30)

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nanokevin
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发表于：2009/10/31 17:03:35 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
小弟要用STEM的EDS觀察多晶材料晶界之成分變化
因此要知道STEM EDS probe的大小
請問這是有公式可以估算的嗎?
看一般文獻都寫約5nm
這會因gun lenght的不同而改變嗎?


謝謝
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2009/11/1 5:38:46 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
STEM是把电子束focus成很小来进行扫描的，如果你有probe corrector的话，电子束可以到1A或者以下，否则就要看你仪器以及STEM的调节了，有可能从2A到几个nm都有可能。EDS本来就是估算的分析，即使你electron probe很小，你的样品厚薄不同，interaction volumn也会差别很大，所以一般来讲，如果你的probe1-2A而且你的样品很薄，说分析的resolution大约是2-3纳米还是可以的。如果你想做更精确的分析，还是用EELS吧，试过signal可以控制在半个unit cell之内。
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jwdeng
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2009/11/1 12:02:07 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
哪位做过STEM下的EELS的线扫啊，能说说具体的操作步骤吗。
FEI的工程师演示过一次，几分钟就搞定了，还没反应过来就已经做完了。看时觉得挺简单的，结果看完就忘了
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penguinle
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2009/11/2 2:45:51 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
STEM的EELS linescan，也就是Gatan所说的SI,做起来不难，但是要得到好的结果不容易。你先画条线，然后用EF菜单或者Experient下面的spectrum image选项选择EELS，设好时间和取点的数量就可以了。
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yufengko
YuFengKo
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2009/11/15 23:53:08 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
若您使用FEI(原Philips)機台,可切換至nanoprobe mode
使用CCD接收beam 的影像,就可估算beam size
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手机版： 【求助】STEM EDS 的probe size怎麼估算 (FEI TF30)
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