主题：【求助】EDX如何激发出Ta的Mζ Mγ峰？

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查Ta M系的Ec是1.735KeV，而M系的Mβ Mζ Mγ M2-N4能量分别为1.770，1.331，1.968和2.226，样品是Si substrate上的Ta薄膜，Mβ可能无法分辨，但为什么我把电压加到15KV仍然看不到Ta的Mζ Mγ M2-N4呢？

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查Ta M系的Ec是1.735KeV，而M系的Mβ Mζ Mγ M2-N4能量分别为1.770，1.331，1.968和2.226，样品是Si substrate上的Ta薄膜，Mβ可能无法分辨，但为什么我把电压加到15KV仍然看不到Ta的Mζ Mγ M2-N4呢？

为何一定要看到Ta的Mζ Mγ M2-N4，这些谱峰有特殊意义吗？

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为何一定要看到Ta的Mζ Mγ M2-N4，这些谱峰有特殊意义吗？

需要区别Ta与Si，如有其它峰可以表征Ta的也可

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为何一定要看到Ta的Mζ Mγ M2-N4，这些谱峰有特殊意义吗？

需要区别Ta与Si，如有其它峰可以表征Ta的也可

如果仅仅为了区分这两种元素看Ta 的La线的峰吧，这样简单多了

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查Ta M系的Ec是1.735KeV，而M系的Mβ Mζ Mγ M2-N4能量分别为1.770，1.331，1.968和2.226，样品是Si substrate上的Ta薄膜，Mβ可能无法分辨，但为什么我把电压加到15KV仍然看不到Ta的Mζ Mγ M2-N4呢？

为何一定要看到Ta的Mζ Mγ M2-N4，这些谱峰有特殊意义吗？

需要区别Ta与Si，如有其它峰可以表征Ta的也可

如果仅仅为了区分这两种元素看Ta 的La线的峰吧，这样简单多了

Ta的L系Ec为9.881KeV，加速电压需要20~30KV，一般SEM提供不了这么高的加速电压，但是Ta的Mζ Mγ 与Si的Ka是相似的，理论上应该可以激发出来

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为何一定要看到Ta的Mζ Mγ M2-N4，这些谱峰有特殊意义吗？

需要区别Ta与Si，如有其它峰可以表征Ta的也可

如果仅仅为了区分这两种元素看Ta 的La线的峰吧，这样简单多了

Ta的L系Ec为9.881KeV，加速电压需要20~30KV，一般SEM提供不了这么高的加速电压，但是Ta的Mζ Mγ 与Si的Ka是相似的，理论上应该可以激发出来

为何电镜的加速电压达不到20~30KV？电镜老了？还是当初购机时要求加速电压在20~30KV以下？