原文由 wildonkey(wildonkey) 发表:
楼主的是FEI的Quanta电镜吧,我觉得楼主拍的挺好的,钨灯丝到这样不错了。
再提升电压、减小WD,我觉得意义不大,反倒不如减小spot size。
图中楼主不做能谱,20KV已经足够高,更高的HV时电子束和样品的作用体积变大,分辨率改进不大。
钨灯丝没有半浸润式的末端透镜设计,SE探头也很远,所以WD再小,SE探头的接受信号更小,信噪比差。我比较过Quanta200 WD=20和7.5mm的,分辨率的改进不明显,图像变暗倒是非常显著。
spot size降到1,图像分辨率能看出差别