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主题：【求助】SEM测试薄膜样品

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rainflying666
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发表于：2010/01/07 19:58:52 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们这边测试薄膜样品时，以前都是用的20KV的电压，可最近发现一些薄膜样品上出现裂痕的现象，是不是电压设置高了还是怎么回事呢？可是以前都是好的啊！请教各位了
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rainflying666
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2010/1/8 10:30:23 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
怎么没人理我呢？
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insulater
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2010/1/8 10:35:49 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
什么材料构成的？
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fengyonghe
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2010/1/8 16:59:25 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可能是薄膜的成分有波动，例如某些可挥发物质或水分含量高了，真空干燥时出现收缩裂纹。
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rainflying666
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2010/1/12 19:44:10 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
有可能像专家说的这样，因为是新进的一批料，而且测了好多都是这样的！
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huangtao0307
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2010/1/13 8:13:08 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可能是電壓有點大了,您要做能譜嗎﹖如果不做的話可以把電壓放小一點的
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rainflying666
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2010/1/13 20:09:13 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
放到15KV试过啊，不过分辨率达不到，上面有些孔一样的东西照不清晰的！所以还是用了20KV!
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HNR2323
liuning2323
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2010/1/21 16:19:22 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
应该是电压太大的原因
薄膜一般为有机成分，电子束轰击导致样品局部过热开裂
可以把spot size调小一些尝试看
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rainflying666
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2010/1/21 19:13:53 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这类样品送出去做冷场了
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guanjun19860820
guanjun19860820
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2010/1/22 9:51:27 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
薄膜样品当然要降低电压了！
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永远的菜鸟
sem1233
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2010/1/30 9:46:38 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
感觉也是电压高了。
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