原文由 shxie 发表:
用SEM能否做元素分析?
http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20050611/177606/
看看我上面引的帖子,renxin大侠这道题有漏题了,呵呵。
英聯邦科研中心(CSIRO)澳大利亞分佈有一產品叫QEMSCAN﹐以ZEISS鎢絲電鏡做平臺﹐設置四臺英國GRESHAM能量譜議加四臺脈沖檢測器﹐再加上獨立開發的一套軟件和硬件﹐ 可以通過分析背散射電子信號﹐確認元素。
該軟件也可以通過背散射信號加X射線能譜分析﹐即點掃描﹐線掃描或者MAPPING確認元素。
因為如果元素是在化合物形式時﹐背散射不能100%確認。