主题:【讨论】日本电子的电镜电子枪漏气的话,可能会是那些部位会出现问题?

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netasp
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日本电子的电镜电子枪漏气的话,可能会是那些部位会出现问题?
麻烦知道的说一下,怎么检查?
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看来电子枪和样本室之间的隔离阀门有问题,这个阀门一般是气动的。
建议先检查空压机压力输出,没问题的话可以再检查阀门上的密封圈。
netasp
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工程师维修过了,修改了电路和清洗了垫圈,现在正常了
liushanhu
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