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主题：【讨论】请教 2010故障如何解决

浏览0 回复4 电梯直达
psgbkd
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发表于：2010/04/23 16:02:47 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请教各位大牛，现象为：放入样品杆开始抽真空时，Focus值自动上涨，并且报警，拿下样品杆，RESET之后，还没放样品杆，还是Focus值上涨报警。这是怎么回事，如何处理？
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2010/4/24 3:34:11 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这种问题还是打电话问问jeol 的service engineer把
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tygk98
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2010/4/24 17:31:07 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
看看你的P1~5的值是多少？
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jem-2010
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2010/4/26 8:46:22 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
没有遇见过这种问题，期待中，是不是可以重启一下机器了？个人意见
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2010/4/27 10:18:43 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
重启电镜（不是用RESET）试试，若还不行
打开左控台将物镜线圈开关关掉，看看
Focus值是否变化
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