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主题：【求助】关于溅射Cu电极的问题

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yjyang07
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发表于：2010/04/26 18:00:02 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
求助射频溅射Cu电极（要不要加热，背底真空度需要多少？会氧化吗？
，条件以及注意的事项？
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2010/4/26 22:20:05 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
楼主应该到相关版面去求助，本版仅限文献类求助。
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