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透射电镜（TEM）
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主题：【讨论】FIB的缺点

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wyf013789387320
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发表于：2010/05/10 19:59:28 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
FIB与其它TEM制备技术相比，有哪些局限性？大家知道的都来谈谈啊。。
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xiaozhu124
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2010/5/10 20:01:03 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我只用过FIB不知道
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husr007
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2010/5/10 23:10:04 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
高能离子束容易造成样品损伤，导致制备出的样品在透射下已经不是本征状态
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footballwind
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2010/5/12 22:30:10 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
直观的缺点：薄区面积小啊。。。
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大布口袋
taboo
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2010/5/17 2:16:05 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
好的FIB样品，薄区面积并不小，而且足够做HRTEM了，
当然，需要很有经验和熟练才能制备出好的FIB样品，
不过离子束对样品的损伤是不可避免的，尤其是终期减薄的时候一定要用低电压，不然样品损伤会很重，尤其是金属样品，可能会被打成非晶，另外，对于金属样品来说，比如铝，用FIB制备会引入小的dislocation loop，或者stacking fault，现在专门有一批人在做FIB样品损伤这个课题的
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icewine2000
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2010/5/21 20:55:10 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
FIB制样最大的优势就是：1，可以在定点制样；2，较快（1小时内可做完）。FIB做出来的TEM质量都不错。FIB用30kev Ga粒子切割样品两边，最后用小流量Ga离子减薄，问题在于TEM样品两个面上有毛边，加一起大概有30nm。不过可以将FIB做好的样品拿去用Ar处理掉两面的毛边。
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