主题：【求助】大家看下我需要买什么样的扫描电镜！

原文由 huangtao0307(huangtao0307) 发表:
日本电子的就可以了啊，关键是你预算有多少啊？呵

原文由 驰奔(srd2009) 发表:
扫描电镜图像有立体感，但实际是二维图像，在样品没有倾斜状态下，对平面尺寸进行测量，准确度还是靠的住的。
按照目前扫描电镜放大倍数误差正负10%以内的标准测算，楼主的0.1微米测量精度要求来推算，样品的结构尺度还是比较大的。一般原位大个2万倍足矣。

至于三维结构中的高度，据我了解现在有软硬两个方法，
软的：从图像灰度等级，依据二次电子产额与样品形貌的关系，推算样品高低不平的高度，从而模拟出三维图像。 这个对有些特殊样品比较有效，复杂样品很难说。很多厂商都免费送，成本低----这就很说明问题。
硬的，纯粹样品台多角度全对中步进旋转，每一步都进行图像存储，并且计算机自动数据分析，最后合成立体图像，类似全息照相，这个精度应该说比较高。成本也高。
据我所知，最好是六轴马达计算机导航驱动的样品台，才好用。

原文由 fyh1010(fyh1010) 发表:
你测量精度达0.1微米，也就是1nm，分辨率有点高啊，我知道FEI的场发射电镜能达到，不知道其它的能不能达到。

原文由 平凡人(zhaoyt1979) 发表:

原文由 驰奔(srd2009) 发表:
扫描电镜图像有立体感，但实际是二维图像，在样品没有倾斜状态下，对平面尺寸进行测量，准确度还是靠的住的。
按照目前扫描电镜放大倍数误差正负10%以内的标准测算，楼主的0.1微米测量精度要求来推算，样品的结构尺度还是比较大的。一般原位大个2万倍足矣。

至于三维结构中的高度，据我了解现在有软硬两个方法，
软的：从图像灰度等级，依据二次电子产额与样品形貌的关系，推算样品高低不平的高度，从而模拟出三维图像。 这个对有些特殊样品比较有效，复杂样品很难说。很多厂商都免费送，成本低----这就很说明问题。
硬的，纯粹样品台多角度全对中步进旋转，每一步都进行图像存储，并且计算机自动数据分析，最后合成立体图像，类似全息照相，这个精度应该说比较高。成本也高。
据我所知，最好是六轴马达计算机导航驱动的样品台，才好用。

谢谢关注！
具备六轴马达计算机导航驱动的样品台的电镜都有哪些型号？

原文由 fyh1010(fyh1010) 发表:
你测量精度达0.1微米，也就是1nm，分辨率有点高啊，我知道FEI的场发射电镜能达到，不知道其它的能不能达到。

原文由 jwdeng(jwdeng) 发表:
不一定非得用SEM啊，AFM，激光共聚焦，光学干涉仪，台阶仪都可以实现啊。100nm的精度这些仪器都能轻易实现