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主题：【求助】跪求金靶的尺寸！

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yun9333
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发表于：2010/06/28 16:57:29 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
有人知道E1010离子溅射仪器上用的金靶的尺寸是多少吗？

多谢了！
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2010/6/29 14:30:15 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
項目 内容
放電 方式 ダイオード放電
電極形状 リング（63mm）
電圧 DC2.5kV、0.5kV
電流 DC0～30mA
コーティングレート（例）（注） Au 10（nm/min）
試料 最大直径 50mm
試料高さ 15mm
ロータリーポンプ 50（L/min）
所要電源 単相AC100V（±10%）1kVA
大きさ 幅×奥行き×高さ 350×440×307mm
重さ 約29kg
详情请查看：http://www.hitachi-hitec.com/em/sample/e1010.html
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yun9333
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2010/6/29 17:07:03 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢楼上！您提供的都是溅射设备E1010的信息，没有说靶材的尺寸啊！
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lubiren
LuBiren
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2010/7/11 16:44:46 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果你问的是里面的金箔，尺寸是210mmx16mm，要自己打造一个吗？
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2010/7/11 16:45:51 Last edit by LuBiren
hsteel
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2010/7/11 17:14:14 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
求助的时候不要用“跪求”，不好听。
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