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扫描电镜（SEM/EDS）
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主题：【讨论】请问SEM，FIB，AFM哪个测试更精确呢？

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littlebean
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发表于：2011/12/23 13:27:46 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
测试纳米级别的宽度，高度，这三个设备哪个更精确呢？

目前测出来，几个设备的偏差在5%左右。但是不知道哪个最好，最可靠。（操作和测试方法均为规范操作的情况下）
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小M
mitchell_dyzy
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2011/12/23 17:22:55 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
SEM是二维的，所以测不出高度，FIB不清楚，只知道可以用来透射制样，AFM可以测三维的
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2011/12/23 17:23:13 Last edit by mitchell_dyzy
fengyonghe
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2011/12/23 23:39:19 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
注意在量程内使用超过量程不准确。
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julich
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2011/12/24 16:19:21 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不管是ＳＥＭ还是FIB(应该是双束，离子束成像可能分辨率不够）,进行纳米尺度测量前都要进行校准。这个校准每台设备一般每两年做一次（每个实验室周期各不相同），即把已知尺寸的栅格在电镜里多次测量后给出电镜的测量结果同已知尺寸的栅格宽度进行比较，这种误差越小，则实际进行测量时误差也相应越小。但是目前我国现有的已知尺寸的栅格只到几百个纳米尺寸，再小可能要用国外的栅格，很多地方都没有，所以进行测量几个纳米尺度时，建议用AFM.几十纳米的尺度测量就看你选用的ＳＥＭ或者FIB校准时的误差大小，误差越小，结果就相应会更准确。
当然，这种测量与操作者拉标尺时肉眼的误差也有关。
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littlebean
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2011/12/26 12:31:19 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
非常感谢大家
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奔跑的蜗牛
chenjianfeng
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2011/12/29 11:07:56 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
宽度上SEM和AFM差不多，误差都应该在3%左右，高度如果不是看断面的话显然SEM不能解决，要用AFM。FIB则是加工用的，用这东西观察纳米的结构显然有问题，看看就没了啊。
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