原文由 shxie 发表:
原文由 zno 发表:
请问 X光电子能谱 能做微区分析吗?就象EDS一样附在SEM或TEM上做微区成分分析。
据专家说现在有了,现在的分析技术基本都向多维和成像发展,尽量多容纳更多的信息。另外俄歇成像已经早就有了,清华就有一台。
可以微区分析,但目前,空间分辨最好水平只有约10um。不如EDS和SAM(扫描AES)高。但分析化学态,表面灵敏度高,可分析绝缘体等优点。是EDS无法达到的。国内有多种这样的电子能谱仪,光在北京好几家,北大,清华,化学所,化工大学,石化公司化工研究院(位于北京和平街)