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主题：【求助】购买SEM的选择（薄膜）

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carbonfilm
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发表于：2010/07/01 14:10:59 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
实验室想进一台SEM，使用背景：
主要是对无机固体薄膜（PVD/CVD镀制单层或多层膜，基底是玻璃或者硅片或者塑料等）进行表面观测和断面观测；
膜厚最小可以达到1nm左右；
方便的话EDS/EBSD等也有意选装（已有独立的XRF，不知道是否还需要能谱仪)；
另外，这个市场基本上就是那几家在玩，坛子也泡了些时日，优劣难辨，这里主要想听听用户的推荐，厂家也可，别言过其实、互相拆台就好。
方便的话，价格，性能，可操作性，售后服务，耗材成本等，请大家基于事实知无不言，谢谢！
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2010/7/1 14:21:06 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 carbonfilm(carbonfilm) 发表:
实验室想进一台SEM，使用背景：
主要是对无机固体薄膜（PVD/CVD镀制单层或多层膜，基底是玻璃或者硅片或者塑料等）进行表面观测和断面观测；
膜厚最小可以达到1nm左右；
方便的话EDS/EBSD等也有意选装（已有独立的XRF，不知道是否还需要能谱仪)；
另外，这个市场基本上就是那几家在玩，坛子也泡了些时日，优劣难辨，这里主要想听听用户的推荐，厂家也可，别言过其实、互相拆台就好。
方便的话，价格，性能，可操作性，售后服务，耗材成本等，请大家基于事实知无不言，谢谢！


1nm? 那要TEM才能满足要求了吧...
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2010/7/1 16:54:13 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
1nm是膜厚，而且应该是个小概率现象；主要想做薄膜表面微观形貌研究，横截面的薄膜生长情况判断等。
不会只能用TEM吧，那样很痛苦的，制个样都麻烦。
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2010/7/5 7:46:13 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
冷场只有日立一家做得好吗？
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2010/7/7 16:23:54 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
看来没人搭理我，先做个自我批评，小弟学识粗鄙，真心请教各位坛友，欢迎提出批评。
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2010/7/7 20:16:51 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你看看日立，JEOL，和FEI哪家的设备比较适合你了，反正做sem的主要还是这几家，b不过FEI的设备比起日立和JEOL要贵很多
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2010/7/16 17:43:30 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
膜厚1nm？
SEM有点费劲
先各家找机器试试把
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hytpco
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2010/7/17 11:07:04 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
德国蔡司的电镜比较好！FEI环扫做的好！但是贵点。
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驰奔
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2010/7/17 18:27:35 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
期望一种仪器能够解决所有问题，看来都是梦幻了！
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2010/7/17 22:37:50 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们实验室hitachi 和Fei都有，日立的SEM不错，冷场解析度很好，但想做元素分析的话FEI好一些，电流会大。
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qcz9999
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2010/7/27 10:58:09 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不仿了解一下TESCAN的吧。QCZ9999@163.COM
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