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主题：【原创】分子涡轮泵出现问题的原因

浏览0 回复15 电梯直达
lihaiyan249
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发表于：2010/10/19 16:34:10 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
十一放假期间 AGILENT 6410 关机时正常，开机时发现机械泵正常运转，分子涡轮泵不转动，不知道啥原因？检查机械泵泵油，开关机程序都是按照操作文件执行的，没有问题，咨询工程师说分子涡轮泵的使用年限为3-5年，可能是自然磨损，搞不懂？
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2010/10/19 16:56:59 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是不是你机械泵那块抽真空所达到的粗真空度不够导致分子涡轮泵保护性的不工作，查看一下你前级泵的压力是否正常。
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雾非雾
mcds
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2010/10/19 17:38:59 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 zhufangwei(zhufangwei) 发表:
是不是你机械泵那块抽真空所达到的粗真空度不够导致分子涡轮泵保护性的不工作，查看一下你前级泵的压力是否正常。


是，一般说正常停机几天后不会就放坏了的。
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论坛版主招募|新窦
capinter
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2010/10/19 18:58:13 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
前级泵压力到不了指定值分子涡轮泵就不会启动，看看是不是前级泵到质谱的那条连接管有漏气。
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hanjiantaohjt
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2010/10/20 8:26:22 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
一般前级泵抽半小时分子泵就可以启动
检查一下真空部分的气密性
检查电路是否正常
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lihaiyan249
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2010/10/20 11:31:37 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
前级泵可以达到预定的真空度，同时也查看了接口部位无漏气现象，现在等待维修中！
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独钓寒江雪
hzhhqt
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2010/10/20 11:35:38 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可能真空度不够启动不了
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gosome
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2010/10/20 13:04:08 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
分子涡轮泵的使用年限为3-5年？？
一般不会这么短的吧
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johne0212
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2010/10/20 13:11:04 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 gosome(gosome) 发表:
分子涡轮泵的使用年限为3-5年？？
一般不会这么短的吧


这个还是在理想状况下呢,很正常.
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isee
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2010/10/20 16:07:56 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
前级压力达不到，分子涡轮泵是不会启动的
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风肃
zhufengdr
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2010/10/20 23:35:43 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 gosome(gosome) 发表:
分子涡轮泵的使用年限为3-5年？？
一般不会这么短的吧


我也觉得真空泵没这么短寿！正常维护，一般泵都出不了问题！我们实验室十几年的都在用，还有一台06年到现在，真空泵那块没出现问题
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