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主题：【求助】探头被污染！！？？？

浏览0 回复15 电梯直达
wyj8578
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发表于：2010/12/22 10:14:17 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这是在最小的倍数下做的测试图

首先我不明白这个边框怎么就出来了，明明以前是没有的，但有经验的老师说是没有问题的，但还请各位帮忙给个原因，让我死得瞑目些
但更重要的是边框上的那些絮状的东西，是不是探头被污染了。
我们是有做粉末的样品，即时喷金仪坏了以后，。具体是用导电胶粘一层薄薄的粉末样品，再用洗耳球狂吹，某次来参观考察的专家说这样处理过后放进样品室抽真空，粉末样品就不会飞起污染样品室，但我也具体不知这是对还是错
不管是不是探头污染，请问怎么去掉这些絮状物呢？
请各位帮帮忙

补充一下，SEM型号：FEI  QUANTA 400
呵呵
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2010/12/22 16:50:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 wyj8578(wyj8578) 发表:
这是在最小的倍数下做的测试图

首先我不明白这个边框怎么就出来了，明明以前是没有的，但有经验的老师说是没有问题的，但还请各位帮忙给个原因，让我死得瞑目些
但更重要的是边框上的那些絮状的东西，是不是探头被污染了。
我们是有做粉末的样品，即时喷金仪坏了以后，。具体是用导电胶粘一层薄薄的粉末样品，再用洗耳球狂吹，某次来参观考察的专家说这样处理过后放进样品室抽真空，粉末样品就不会飞起污染样品室，但我也具体不知这是对还是错
不管是不是探头污染，请问怎么去掉这些絮状物呢？
请各位帮帮忙

补充一下，SEM型号：FEI  QUANTA 400
呵呵


1.边框問題﹕你的設備有沒有背散探頭啊﹐我們之前也碰到過。后來分析是由于背散探頭放歪造成的.
2.做粉末品對電鏡有影響是肯定的.那位專案說的樣品前處理方法也是可取的.不過在放到電鏡里
  前最好先利用其他抽真空設備預抽一下﹐這樣可以把一些可能會因為抽真空跑掉的粉末先
  處理掉.
3.去掉这些絮状物質似乎沒有其他更好的辦法了﹐只有在設備大保養時更換光攔.清洗鏡筒才能
    真正解決這個問題.
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2010/12/22 16:50:43 Last edit by huangtao0307
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2010/12/22 16:59:50 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
实在是很谢谢LS的回答

1.有背散射的探头，那我再调整一下探头是不是可以消除边框，有不少客户反应低倍的时候实在是不好看
2.除了一个坏了的喷金仪就没有其他的抽真空的设备了，呵呵
3.等到设备大保养都不知何年何月了，只好先凑合着用了

O(∩_∩)O谢谢
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小M
mitchell_dyzy
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2010/12/22 18:15:03 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
低倍的时候，确实是可以看到极靴的。
加了背散射探头就更加能看到那个框了。
没看到有你说的絮状物啊？
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fengyonghe
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2010/12/22 20:20:55 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
LFD是什么探测器？成像原理是什么?网上没搜索到。二次电子像能否看到边框？
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2010/12/22 20:25:35 Last edit by fengyonghe
wyj8578
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2010/12/23 10:19:50 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 Mitchell(mitchell_dyzy) 发表:
低倍的时候，确实是可以看到极靴的。
加了背散射探头就更加能看到那个框了。
没看到有你说的絮状物啊？


在边框的左右两边上
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wyj8578
wyj8578
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2010/12/23 10:24:20 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
LFD是什么探测器？成像原理是什么?网上没搜索到。二次电子像能否看到边框？


这是FEI 环境扫描电镜低真空模式的探头，这是二次电子像吧！！？
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schokolade38
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2010/12/23 14:17:11 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
BSED装了吗?用LFD时最好把BSED拿掉, 图像问题不大, 边缘的的问题可以通过更换200UM 光阑和清理POLEPIECE解决
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tigerlt
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2011/1/4 1:30:17 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
在很低的放大倍数下不可避免的看到光阑孔的边。这的确是正常现象。如果你不想看到，可以增加工作距离。高真空时还可以把insert取出。都可以增大视野。絮状物不是探头被污染了而是沾在光阑上了。如果像散可以调好都没必要管它。如果无法调像散可以考虑换光阑。
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tigerlt
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2011/1/4 1:34:36 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
LFD是什么探测器？成像原理是什么?网上没搜索到。二次电子像能否看到边框？


LFD large field detector
低真空二次电子探头。原理类似于环扫探头，都是样品表面二次电子电离气体分子，在外加电场作用下引发雪崩效应，电离的气体正离子中和表面荷电，二次电子成像。这本身就是二次电子像。
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ningwq
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2011/1/4 12:54:14 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可以增加工作距离。絮状物如果像散可以调好都没必要管它。如果无法调像散可以考虑换光阑。
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