SEM在抽真空时发出怪怪的声音

xylee

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2011/1/14 9:45:40 11楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

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fengyonghe

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2011/1/16 23:26:33 12楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 unht(unht) 发表:
并不是泵的原因，声音是从枪下面的那个大机盒了发出来的，我门怀疑是减震台在撑起时有什么灰尘落里面去了，像是被卡了一下发出的声音。
等放假了拆下来看看....

那个“大机盒”是真空室，抽气时瞬间打开造成负压使舱门锁紧，应该是阀门有异常响声。

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unht

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2011/1/17 18:20:48 13楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

但是那种声音不是常出现的...偶然性...

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sophiachang

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2011/1/18 11:45:46 14楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

是样品室里的声音么？
这个声音之后系统提示抽真空完毕？还是继续在抽真空？

原文由 unht(unht) 发表:
SEM在放进样品后抽真空的时候，

会突然发出

“咯吱”的声音，

对这样的现象我们怀疑是减震台的问题。

可能是掉有灰尘到减震台里面去了

不知道大家对此有何见解

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大雄

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2011/1/18 19:48:01 15楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

检查一下样品室的橡皮圈处，适当涂些真空脂

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unht

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2011/1/20 21:20:44 16楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 sophiachang(sophiachang) 发表:
是样品室里的声音么？
这个声音之后系统提示抽真空完毕？还是继续在抽真空？

原文由 unht(unht) 发表:
SEM在放进样品后抽真空的时候，

会突然发出

“咯吱”的声音，

对这样的现象我们怀疑是减震台的问题。

可能是掉有灰尘到减震台里面去了

不知道大家对此有何见解