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主题：【已应助】英文文献2篇

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slj159200mark
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发表于：2011/01/11 09:58:17 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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【序号】：1

【作者】：H. Kim, S. M. Rossnagel

【题名】： Plasma-enhanced atomic layer deposition of tantalum thin films: the growth and film properties  

【期刊】：Thin Solid Films

【年、卷、期、起止页码】：Volume 441, Issues 1-2, 22 September 2003, Pages 311-316

【全文链接】：

http://www.sciencedirect.com/science?_ob=ArticleURL&_udi=B6TW0-49205HY-C&_user=10&_coverDate=09%2F22%2F2003&_alid=1602634433&_rdoc=11&_fmt=high&_orig=search&_origin=search&_zone=rslt_list_item&_cdi=5548&_sort=r&_st=13&_docanchor=&_ct=1145&_acct=C000050221&_version=1&_urlVersion=0&_userid=10&md5=8c4761bd46ab84353433d66f5d477db0&searchtype=a



【序号】：2

【作者】：Robert G. Behrens, Roy C. Feber

【题名】： Thermodynamic properties of gaseous tantalum-chlorine molecules

【期刊】：Journal of the Less Common Metals

【年、卷、期、起止页码】：Volume 75, Issue 2, 15 November 1980, Pages 281-292

【全文链接】：

http://www.sciencedirect.com/science?_ob=ArticleURL&_udi=B759D-48NC56M-KW&_user=10&_coverDate=11%2F15%2F1980&_alid=1602634433&_rdoc=13&_fmt=high&_orig=search&_origin=search&_zone=rslt_list_item&_cdi=12952&_sort=r&_st=13&_docanchor=&_ct=1145&_acct=C000050221&_version=1&_urlVersion=0&_userid=10&md5=2ff0545743cb4791848e55fe49adb6b7&searchtype=a
推荐答案：知而後行回复于2011/01/11
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2011/1/11 10:14:01 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
非常感谢！！
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