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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：关于线扫描的问题_定量

浏览0 回复24 电梯直达

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happydfli

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2006/1/18 12:28:00 11楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 wustliang 发表:
sem的定量分析的应用是点范围的。
它只能针对式样中的某个点进行元素分析

是这样的。所谓的定量线扫描是在线上定义若干个点，逐点分析。只是现在的软件可以对每点都记录所有能检测到的元素信息并给出定量结果。

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觉悟

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2006/1/23 2:26:00 12楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

Rontec公司的QuantaxQX2 SDD电致冷能谱仪的Qline软件就是专门为线扫描定量而设计的，而且是标准配置软件，无需另外购买。

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奔跑的蜗牛

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2006/1/23 11:17:00 13楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我用过EDAX线扫描定量的功能.

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Last edit by chenjianfeng

德国工兵

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2006/3/20 10:00:00 14楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

个人感觉所谓的Lines & Grids的确各厂家只是大同小异，说得不客气一点就是玩个概念，弄个穴头出来而已，并没有什么实际的作用。打击面广了，呵呵，其实个人感觉只要有基本的能谱分析功能就够了，其他什么线扫面扫统统不要，能省不少钱，真正有用的功能也都有了，就像现在的手机一样，打电话，发短信有了，手机质量好点，软件操作方便一点就可以了，其他功能不要也罢，欢迎拍砖

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happydfli

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2006/4/7 12:31:00 15楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

但线扫和面扫确实在一些研究中需要的。特别要满足一些客户的要求。

原文由 tao______ 发表:
个人感觉所谓的Lines & Grids的确各厂家只是大同小异，说得不客气一点就是玩个概念，弄个穴头出来而已，并没有什么实际的作用。打击面广了，呵呵，其实个人感觉只要有基本的能谱分析功能就够了，其他什么线扫面扫统统不要，能省不少钱，真正有用的功能也都有了，就像现在的手机一样，打电话，发短信有了，手机质量好点，软件操作方便一点就可以了，其他功能不要也罢，欢迎拍砖

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spring_1219

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2006/11/6 10:56:00 16楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

老师:
请问线扫描对样品的粒径有什么要求吗?
我想知道样品中元素的分布情况.
这个问题已经困扰我们好久了……

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zhquanming

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2006/11/7 20:38:00 17楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

通常我的做法是通过调整SEM的扫描方式来控制是进行面扫描、点扫描或者线扫描，link的线扫描确实只是计数率。
另外，用Co只是对元素的峰位进行标定，对以前较老的一些电镜而言，由于其内部的电子管等元件老化等原因，不同时期的元素峰位可能要发生偏移因此需要经常对峰位进行校准。对于目前较新的能谱仪而言，这种峰位校正在首次安装调整后多年内都是不需要再进行校正。实际上，进行定量计算时是需要用到与样品含量相同或相近的样品标样来进行定量计算，这样得到的计算结果将会更精确＆更准确。例如，用含量大约20％Cr的标样去计算1Cr18Ni9Ti中的Cr含量的精确度将会比用100％Cr的标样计算出来的精确度会更高。如果标样的元素含量与实际材料的元素含量差值很大，所得到的结果误差必定会很大。当然每台能谱仪都会带有内建的标样数据库，但我们实际中使用的材料变化很大，决不能够仅靠机子带的标样库就达到目的，还要建立适合自己需要的标样库，这样得到的计算结果会更接近真实值，精度也会更高。而且标样和测量样的测试条件应该尽量保持一致（譬如加速电压、束斑大小、采集电流、工作距离等条件），这样结果准确性会更高。

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xuexinrui

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2006/11/7 21:03:00 18楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

呵呵有那么多人用的都是EDX啊，有时间多交流啊，我的也是哈！

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zhquanming

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2006/11/7 21:05:00 19楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 spring_1219 发表:
老师:
请问线扫描对样品的粒径有什么要求吗?
我想知道样品中元素的分布情况.
这个问题已经困扰我们好久了……

按道理，只要电镜的放大倍数足够高，扫描线足以在测量范围内即可。如果只是了解各元素的分布变化，不进行定量计算，那么用能谱仪的线分析软件即可。若要进行定量计算，建议先用面分布分析一下各个感兴趣的元素分布情况，然后再对兴趣点进行定量分析，这样可以对测量点有感性认识，我的能谱可以在一条线上进行多点设定（可以定义测量点数或者点间距）。顺便要提的一点是，不管是哪一种，测量完后都应该再次确认一下实际测量线是否是自己开始设定的位置，因为很多时候由于外电源不稳等原因，在测试过程中图像会进行漂移，一旦扫描图像移动，最终测量结果将不是你的设定线的结果。

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qianwanli123

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2007/1/7 23:31:00 20楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 zhquanming 发表:
原文由 spring_1219 发表:
老师:
请问线扫描对样品的粒径有什么要求吗?
我想知道样品中元素的分布情况.
这个问题已经困扰我们好久了……

按道理，只要电镜的放大倍数足够高，扫描线足以在测量范围内即可。如果只是了解各元素的分布变化，不进行定量计算，那么用能谱仪的线分析软件即可。若要进行定量计算，建议先用面分布分析一下各个感兴趣的元素分布情况，然后再对兴趣点进行定量分析，这样可以对测量点有感性认识，我的能谱可以在一条线上进行多点设定（可以定义测量点数或者点间距）。顺便要提的一点是，不管是哪一种，测量完后都应该再次确认一下实际测量线是否是自己开始设定的位置，因为很多时候由于外电源不稳等原因，在测试过程中图像会进行漂移，一旦扫描图像移动，最终测量结果将不是你的设定线的结果。

请教：
如果可以自己定义扫描开始点以及间距，是否可以这么增加数据点，从而提高线扫描曲线精度？
即：如果按照空间分辨率最大为1微米，假设起始点为0微米，扫描至100，得到100个数据点；再一次可否从0.5微米开始，仍然设置1微米为间距，这样扫描得到的100个数据，和第一次得到的数据整合在一起，就可以使得线扫描曲线更加精确？
以上想法是否可行或根本就是错误的？
如正确，是否多次在同一位置扫描后叠加得到的数据曲线相对就更加准确？
或：假设材料成分基本分布均匀，将线扫描上移或者下移1微米后得到的数据叠加，也是可以反映线扫描数据曲线精度的？

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