主题:【已应助】【问题】SEM图像模式1下的神奇毛玻璃效果(视频)

浏览0 回复17 电梯直达
小M
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貌似去年就出现这个问题了,一直没有深入了解,现在来求助大家吧!

在mode1:Field Free模式下,放大倍数在一定倍数之上时(约2、3万倍),图像会出现点状马赛克,类似于毛玻璃效果,这是什么原因呢?

疯狂@asahi42,答疑解惑啊~



播放密码:youku,原视频地址:http://v.youku.com/v_show/id_XMzgzMzg1NDc2.html
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小M
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似乎视频看得不是很清楚,再补几张图片


这张是最清楚的一张,仔细看框里面


这张似乎也能看出点差别


靠近了拍一张
zhadaoan
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原文由 zhadaoan(zhadaoan) 发表:
原文由 小M Orz=3(mitchell_dyzy) 发表:
似乎视频看得不是很清楚,再补几张图片


这张似乎也能看出点差别


沙发,什么样品啊,这张看着有点荷电效应啊,是不是不导电的样品,降低电压什么的都试过了?问下,那张马赛克是不是倍数越大越明显?
驰奔
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原文由 驰奔(srd2009) 发表:
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有幸碰到驰奔您了,想开始还是看你的博客入的扫描理论的门,呵呵,依您看,楼上设置主要问题在哪?
fengyonghe
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扫描照片本来就是由马赛克组成的,在一定的条件下可以看到。若图像分辨率设置为1024*1024,图像显示区100mm,则每像素约0.1mm 。放大两倍可以看到马赛克。但还要有束斑配合。选放大倍率20000倍,束斑调整到0.1mm/20000=5nm 。
小M
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原文由 zhadaoan(zhadaoan) 发表:
沙发,什么样品啊,这张看着有点荷电效应啊,是不是不导电的样品,降低电压什么的都试过了?问下,那张马赛克是不是倍数越大越明显?
荷电只是局部的,其实这个和样品没有什么关系,我都没有放样品,随便在stage上找了块地方来演示拍这段视频,我都不知道拍的是什么材料。马赛克是倍数越大越明显。
小M
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原文由 驰奔(srd2009) 发表:
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希望是设置的问题,因为如果是设置的问题,那就有的救,而且相对容易解决了。
之前就关注过这个,可惜这个时间在上班,不知道有没有录像回放可以看?
小M
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原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
扫描照片本来就是由马赛克组成的,在一定的条件下可以看到。若图像分辨率设置为1024*1024,图像显示区100mm,则每像素约0.1mm 。放大两倍可以看到马赛克。但还要有束斑配合。选放大倍率20000倍,束斑调整到0.1mm/20000=5nm 。
这些信息都可以在图上看到,分辨率1024*884,水平视场宽度8μm,束流80pA,放大倍数3万倍。
zhadaoan
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原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
扫描照片本来就是由马赛克组成的,在一定的条件下可以看到。若图像分辨率设置为1024*1024,图像显示区100mm,则每像素约0.1mm 。放大两倍可以看到马赛克。但还要有束斑配合。选放大倍率20000倍,束斑调整到0.1mm/20000=5nm 。

之前我也考虑到这个问题,可是才3万倍,显示器应该能满足啊,是不是这个原因,楼主后来解决了没?
小M
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再仔细看了冯老师的这段话,似乎明白了原因。我漏讲了一个重要事实,就是两年前,在这样的倍数下还没有马赛克,后来才慢慢有,而且似乎时间越往后,倍数越低就能看到马赛克。猜想是因为随着灯丝发射电流增大,束斑直径变大了。可以验证一下,不过束斑直径在哪里可以找到?
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