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zhysony
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发表于：2011/03/18 21:43:04 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
样品是厚度约为1um的Si oxide薄膜，想得到清晰的图像，以便测得粗糙度。
Nanoscope的Multimode，tip是NT-MDT的，Pt-crystal silicon，f为355Hz。
Tapping模式，integral gain和proportional gain都设得很小（0.2左右），窗口是10×10um的。
问题主要是：一不够清晰，二是有明显的小划痕。

虽然测得的粗糙度不错，但我觉得实际的粗糙度应该比这个值要大，求问没有捕捉到真正的“峰”点和“谷”点，粗糙度应该小于实际值吧？
另外就是测量的问题到底出在哪儿？是针的问题？还是参数没有设好。

大家有话就说，谢谢指点！
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2011/3/20 11:53:58 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
速度减慢点。针尖力度加大点。
Nanoscope的Multimode这种型号的操作起来不是那么容易
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2011/3/20 15:54:46 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 unht(unht) 发表:
速度减慢点。针尖力度加大点。
Nanoscope的Multimode这种型号的操作起来不是那么容易


感谢指点，加大针尖力度果然起作用了！另外我还发现gain值太小、针尖污染也是模糊的原因！

起初发现trace曲线波动很剧烈，怀疑是噪声，因此减小了gain值，但后来发现波动的曲线就是真实的表面形貌！将gain值提高到了0.4和0.8左右，图像就明显清晰了。另外就是unht说的，针的力度还不够，可能是我主观认为针太脆弱，看来多虑了，呵呵！最后，原来的针尖好像别人用过多次，钝化或污染可能是另一个原因~

总之问题解决了，发图致谢论坛和热心的Unht ！
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2011/3/20 16:02:35 Last edit by zhysony
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2011/3/20 16:46:36 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不用谢啊，以后大家多交流交流
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