主题:关于场发射电镜的一个问题

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jw714
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热场发射和Schottky式场发射之间究竟是一个什么关系?当前市场上采用Schottky式场发射的电镜产品除FEI外,是否还有其他厂家?


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yudunxi
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chmliubh
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原文由 jw714 发表:
热场发射和Schottky式场发射之间究竟是一个什么关系?当前市场上采用Schottky式场发射的电镜产品除FEI外,是否还有其他厂家?




热场发射和Schottky式场发射因该是一样的意思,都是thermal assisted emission. JEOL电镜采用一般都是cold emssion. 好像FEI,Hitachi,Zeiss (主要是sem)采用的都是Schottky式场发射。
Schottky式场发射主要优势在于大的probe current;
cold FE得主要优势在于较小的energy spread.
厂家都说自己好。但用户得看自己的budget和用途,各有千秋啦。
怪味陈皮
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原文由 jw714 发表:
热场发射和Schottky式场发射之间究竟是一个什么关系?当前市场上采用Schottky式场发射的电镜产品除FEI外,是否还有其他厂家?

肖特基式场发射也属于热场发射,就比普通的热场发射多了个ZrO。
jw714
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