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透射电镜（TEM）
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主题：spot size 是干什么的》

浏览0 回复6 电梯直达
mavericben
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发表于：2006/04/19 12:59:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
该帖子已被shxie设置为精华；
看起来spot size 1， 光最强，spot size 5 最弱。好像作用跟光阑类似。想知道他们的物理位置和机理。
为什么高分辨率要在spot size 3 以上运作？
另外，变化放大率的时候亮度会怎么变化，和轴会变化么
谢谢 JEO 1230
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2006/4/19 17:50:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 mavericben 发表:
看起来spot size 1， 光最强，spot size 5 最弱。好像作用跟光阑类似。想知道他们的物理位置和机理。
为什么高分辨率要在spot size 3 以上运作？
另外，变化放大率的时候亮度会怎么变化，和轴会变化么
谢谢 JEO 1230

spot size（束斑）改变的是第一聚光镜的设置，其效果决定电子束多大部分可以通过下面的聚光镜光阑。当spot size 1 时，大部分可以通过光阑，电子束流高，但由于聚光镜球差的作用，最小的聚焦光斑仍很大；在spot size 5（飞利浦电镜的spot size 11）时， 小部分电子通过光阑，电子束流低，但聚焦光斑尺寸小。
高分辨使用较小的束斑是为了更好的相干性。大的束斑意味着电子束发散角大（空间相干性差），电子束流高也意味着电子的相互作用强（能量相干性差）。但光斑太小光强又不够，中等尺寸的光斑是两者妥协的结果。偏压的设置也可类比。不过在场发射电镜上，由于相干性很高，你可以用最大的束斑做高分辨。
只要对中合适，spot size改变时不应该有较大的位置变化。亮度与放大倍数无关。你可以做一简单的实验：只要光束小于荧光板，测量的曝光时间不会随放大倍数有变化。
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Jin
querida
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2006/4/19 20:26:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不懂的东西真多
好好学习
天天像上
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hailanshi
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2006/4/19 22:59:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
束斑值越小，磁透镜越强。汇聚电子束的能力越强，通过C2的电子就会越多，当然荧光屏上的亮度就越大了。
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mavericben
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2006/4/20 1:30:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
多谢了，只是奇怪有了condenser aperture 为什么还多此一举加个spot size呢


quote]原文由 TEM_ABC 发表:
原文由 mavericben 发表:
看起来spot size 1， 光最强，spot size 5 最弱。好像作用跟光阑类似。想知道他们的物理位置和机理。
为什么高分辨率要在spot size 3 以上运作？
另外，变化放大率的时候亮度会怎么变化，和轴会变化么
谢谢 JEO 1230

spot size（束斑）改变的是第一聚光镜的设置，其效果决定电子束多大部分可以通过下面的聚光镜光阑。当spot size 1 时，大部分可以通过光阑，电子束流高，但由于聚光镜球差的作用，最小的聚焦光斑仍很大；在spot size 5（飞利浦电镜的spot size 11）时， 小部分电子通过光阑，电子束流低，但聚焦光斑尺寸小。
高分辨使用较小的束斑是为了更好的相干性。大的束斑意味着电子束发散角大（空间相干性差），电子束流高也意味着电子的相互作用强（能量相干性差）。但光斑太小光强又不够，中等尺寸的光斑是两者妥协的结果。偏压的设置也可类比。不过在场发射电镜上，由于相干性很高，你可以用最大的束斑做高分辨。
只要对中合适，spot size改变时不应该有较大的位置变化。亮度与放大倍数无关。你可以做一简单的实验：只要光束小于荧光板，测量的曝光时间不会随放大倍数有变化。
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怪味陈皮
ustb
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2006/4/20 13:16:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 mavericben 发表:
多谢了，只是奇怪有了condenser aperture 为什么还多此一举加个spot size呢

现在的透射电镜都是双聚光镜，有的还加了一个mini聚光镜，第一聚光镜是强磁透镜，分档可调，也就是改变spot size；第二聚光镜是弱磁透镜，连续可调，也就是调节Brightness。第一聚光镜的作用是把电子束最小交叉截面进一步缩小，并成像在第二聚光镜的物平面上，跟condenser aperture 的作用是不一样的。有兴趣你可以找本电镜书看看。
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2006/4/20 13:25:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
彻底明白了。。多谢。。


原文由 ustb 发表:
原文由 mavericben 发表:
多谢了，只是奇怪有了condenser aperture 为什么还多此一举加个spot size呢

现在的透射电镜都是双聚光镜，有的还加了一个mini聚光镜，第一聚光镜是强磁透镜，分档可调，也就是改变spot size；第二聚光镜是弱磁透镜，连续可调，也就是调节Brightness。第一聚光镜的作用是把电子束最小交叉截面进一步缩小，并成像在第二聚光镜的物平面上，跟condenser aperture 的作用是不一样的。有兴趣你可以找本电镜书看看。
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