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主题：请问可否对很薄的膜层进行EDS分析？

浏览0 回复11 电梯直达
dingdang606
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发表于：2006/01/12 15:13:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
膜层很薄，大概只有几个微米，想分析膜层的成分，可否用SEM配套的EDS进行成分分析？
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2006/1/17 21:48:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可能不行，
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piaomao
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2006/1/25 3:56:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
要看你的显微镜的透射尺寸，我原来做的那台是5微米左右，偶得薄膜还要薄呢，只有几十纳米，所以也不能做：（
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highpower
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2006/2/3 16:32:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 dingdang606 发表:
膜层很薄，大概只有几个微米，想分析膜层的成分，可否用SEM配套的EDS进行成分分析？


几个微米厚的薄膜应该可以吧，不过准确定量可能不太容易。
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yjliu
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2006/2/3 17:18:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我感觉比较困难，电子束很容易把这么薄的样品损毁的。
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太空大象
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2006/3/3 12:49:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
几个微米应该可以的,纳迷就不行了
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xiaomage2005
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2006/4/14 21:54:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可以分析，我的薄膜也是很薄，而且是非晶的，XRD无能为力，只能靠EDS和XPS了。
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zhuyongfa
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2006/4/15 9:51:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
一般SEM中EDS的X射线作用区域大小在0.5到1微米左右，因此，假如膜层在几个微米进行薄膜成分分析是没有问题的。假如薄膜很薄，也可以进行成分分析，但要考虑基地元素对你测量信息的影响。
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shengyun
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2006/4/19 17:31:00 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我觉得可以进行eds分析，首先要确定这很薄的膜层是有机材料还是无机材料，如果是有机材料，建议你就不要进行eds分析了，如果是无机材料还是可以考虑一下eds的.
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xlbmcr
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2006/6/18 21:35:00 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 dingdang606 发表:
膜层很薄，大概只有几个微米，想分析膜层的成分，可否用SEM配套的EDS进行成分分析？



完全可以,要根据膜层是有机材料还是无机材料，选择合适的加速电压和束流.
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wbsyz
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2006/7/4 23:18:00 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可以的
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