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原文由 无机麦地(shuiyang88) 发表:
真空系统 TMP(涡轮分子泵)+2 个离子泵，高压和所有电子枪供给全部与真空互锁
涡轮分子泵 工作压力范围为10-1～10-8帕
离子泵也是用于超高真空范围，
我在想是不是应该还有机械泵啊？
5楼说：并能在较差的真空度下(10-9 torr)操作
我看分子泵应该是离子泵的前级泵，提供低级的真空，在分子泵前面应该还有机械泵，以抽到适合分子泵工作的范围，这是我的理解。
原文由 疯子(3866625) 发表:
分辨率即分辨本领是扫描电镜的主要性能指标之一。在理想情况下，二次电子像分辨率等于电子束斑直径。
场深在SEM中，位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而成象。这一小层的厚度称为场深，通常为几纳米厚，所以，SEM可以用于纳米级样品的三维成像。
作用体积电子束不仅仅与样品表层原子发生作用，它实际上与一定厚度范围内的样品原子发生作用，所以存在一个作用“体积”。
电子束系统由电子枪和电磁透镜两部分组成，主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成象。 电子枪：用于产生电子，主要有两大类，共三种。一类是利用场致发射效应产生电子，称为场致发射电子枪。这种电子枪极其昂贵，在十万美元以上，且需要小于10-10torr的极高真空。但它具有至少1000小时以上的寿命，且不需要电磁透镜系统。另一类则是利用热发射效应产生电子，有钨枪和六硼化镧枪两种。钨枪寿命在30～100小时之间，价格便宜，但成象不如其他两种明亮，常作为廉价或标准扫描电镜配置。六硼化镧枪寿命介于场致发射电子枪与钨枪之间，为200～1000小时，价格约为钨枪的十倍，图像比钨枪明亮5～10倍，需要略高于钨枪的真空，一般在10-7torr以上；但比钨枪容易产生过度饱和和热激发问题。 电磁透镜：热发射电子需要电磁透镜来成束，所以在用热发射电子枪的扫描电镜上，电磁透镜必不可少。通常会装配两组： 汇聚透镜：顾名思义，汇聚透镜用汇聚电子束，装配在真空柱中，位于电子枪之下。通常不止一个，并有一组汇聚光圈与之相配。但汇聚透镜仅仅用于汇聚电子束，与成象会焦无关。 物镜：物镜为真空柱中最下方的一个电磁透镜，它负责将电子束的焦点汇聚到样品表面。
先声明，我都是百度查的！！！
原文由 iangie(iangie) 发表:原文由 春天的桃子(dct1983) 发表:
冷场和热场得区别：
冷场发射式最大的优点为电子束直径最小，亮度最高，因此影像分辨率最优。能量散布最小，故能改善在低电压操作的效果。为避免针尖被外来气体吸附，而降低场发射电流，并使发射电流不稳定，冷场发射式电子枪必需在10-10 torr的真空度下操作，虽然如此，还是需要定时短暂加热针尖至2500K(此过程叫做flashing)，以去除所吸附的气体原子。它的另一缺点是发射的总电
流最小。
热场发式电子枪是在1800K温度下操作，避免了大部份的气体分子吸附在针尖表面，所以免除了针尖flashing的需要。热式能维持较佳的发射电流稳定度，并能在较差的真空度下(10-9 torr)操作。虽然亮度与冷式相类似，但其电子能量散布却比冷式大3~5倍，影像分辨率较差，通常较不常使用。
哪不常使用? Zeiss的SEM上的FEG大多是热场的~~
原文由 iangie(iangie) 发表:原文由 无机麦地(shuiyang88) 发表:
5、电子束流是大好还是小好？ 电子束流 最高可达 100nA
6、光阑的作用是什么？ 光栏选择 6 孔光栏，高精度点击选择
电子束流根据参数来说是越大比较好，但是电子束流是轰击物质表面的，只要能量合适，能把样品表面的原子轰击出来就行，所以电子束流大小的选择还是与大部分样品有关，并不是越大或者越小好。
电子不可能把原子打出来的........................
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