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主题：【讨论】CARL ZEISS EVO的灯丝crossover像是如何形成的?

浏览0 回复46 电梯直达
iangie
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发表于：2011/05/10 23:16:09 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
EVO用的软件是SmartSEM, 在Gun tab下的emission模式可以看到灯丝crossover的像?
请问这个像是如何形成的呢?
不是用的SE detector吧?

而且我试过了,在屏幕聚焦到faraday cup里的时候点这个emission居然看不到灯丝crossover像.....但是此时的crossover应该是存在的啊~~

谢谢~
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小M
mitchell_dyzy
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2011/5/11 0:18:08 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
没看明白，zeiss的，求详细介绍~
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2011/5/11 0:18:16 Last edit by mitchell_dyzy
asahi42
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2011/5/11 8:50:58 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
同上~期待Zeiss方面的专家~
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iangie
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2011/5/12 14:34:15 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
召唤专家们~~~
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小M
mitchell_dyzy
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2011/5/12 15:40:30 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
楼主可以简单介绍一下你的仪器嘛，介绍用不着专家呢~所谓知己知彼，百战百胜
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2011/5/12 15:41:47 Last edit by mitchell_dyzy
iangie
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2011/5/12 16:08:39 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 小M(mitchell_dyzy) 发表:
楼主可以简单介绍一下你的仪器嘛，介绍用不着专家呢~所谓知己知彼，百战百胜


电子束从灯丝出来的时候是发散的.
经电磁透镜会聚后的第一个会聚点叫crossover.
任何扫描电镜都有.

只是zeiss的SmartSEM软件可以看到有这个灯丝像, 在换了新灯丝后调灯丝对中很方便.
我不知道这个像是怎么形成的. 所以请教各位专家.
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驰奔
srd2009
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2011/5/12 18:34:53 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 iangie(iangie) 发表:
原文由 小M(mitchell_dyzy) 发表:
楼主可以简单介绍一下你的仪器嘛，介绍用不着专家呢~所谓知己知彼，百战百胜


电子束从灯丝出来的时候是发散的.
经电磁透镜会聚后的第一个会聚点叫crossover.
任何扫描电镜都有.

只是zeiss的SmartSEM软件可以看到有这个灯丝像, 在换了新灯丝后调灯丝对中很方便.
我不知道这个像是怎么形成的. 所以请教各位专家.


这个和透射电镜类似，扫描电镜二次电子探测器或者背散射探测器根本无法观察束斑像，我估计是专用一个类似CCD照相的小探测器，直接接收电子束信号。而且在灯丝加饱和时，会看到灯丝像从空心，到实心的过程。
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小M
mitchell_dyzy
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2011/5/12 22:25:03 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
Faraday cap是什么呢？
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iangie
iangie
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2011/5/13 14:18:40 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 驰奔(srd2009) 发表:
原文由 iangie(iangie) 发表:
电子束从灯丝出来的时候是发散的.
经电磁透镜会聚后的第一个会聚点叫crossover.
任何扫描电镜都有.
只是zeiss的SmartSEM软件可以看到有这个灯丝像, 在换了新灯丝后调灯丝对中很方便.
我不知道这个像是怎么形成的. 所以请教各位专家.


这个和透射电镜类似，扫描电镜二次电子探测器或者背散射探测器根本无法观察束斑像，我估计是专用一个类似CCD照相的小探测器，直接接收电子束信号。而且在灯丝加饱和时，会看到灯丝像从空心，到实心的过程。


对, 可以看到灯丝像从空心到实心的过程. 但是电镜腔内没发现这个"类似CCD照相的小探测器"....
但是当照到faraday cup上无法形成束斑像 应该这么解释呢?
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驰奔
srd2009
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2011/5/13 15:26:26 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 iangie(iangie) 发表:
原文由 驰奔(srd2009) 发表:
原文由 iangie(iangie) 发表:
电子束从灯丝出来的时候是发散的.
经电磁透镜会聚后的第一个会聚点叫crossover.
任何扫描电镜都有.
只是zeiss的SmartSEM软件可以看到有这个灯丝像, 在换了新灯丝后调灯丝对中很方便.
我不知道这个像是怎么形成的. 所以请教各位专家.


这个和透射电镜类似，扫描电镜二次电子探测器或者背散射探测器根本无法观察束斑像，我估计是专用一个类似CCD照相的小探测器，直接接收电子束信号。而且在灯丝加饱和时，会看到灯丝像从空心，到实心的过程。


对, 可以看到灯丝像从空心到实心的过程. 但是电镜腔内没发现这个"类似CCD照相的小探测器"....
但是当照到faraday cup上无法形成束斑像 应该这么解释呢?


束斑像是像素化的一个比较大的清晰图像，想想如何把一个电子束的截面像素化？只能是用目前TEM的数字成像技术，但扫描电镜束斑截面可以是亚毫米级，也可以是微米级别，甚至亚微米级别，所以我觉得镜筒中两个固定光阑下面某个部位，有个隐蔽的小机关，当软件切换到SOPT image，这个探测器弹出来，正好截住了电子束，并且成像。

法拉第筒，用于测电子束电流的，固定电子束来轰击样品，只能形成图像的一个像素，无论这个电子束直径多大，用扫描电镜图像探测器成像，只是一个像素而已，很大的图像，也只能是一个很大的马赛克。

老外技术都是掖着藏着的，可能连他们的安装工程师都不知道！
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小M
mitchell_dyzy
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2011/5/13 15:38:37 13楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
越说越深入了，我都听不懂了
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2011/5/13 15:38:53 Last edit by mitchell_dyzy
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