主题：【求助】FEI,蔡司，日电，日立、能谱招标参数的问题，请大家帮帮忙啊，急

原文由 asahi42(asahi42) 发表:
这几年也参与了不少标书，根据LZ您的提问，有以下几个观点供参考：

1.样品仓太大的话，高真空的取得和保持将会有一定难度。虽然现在各家都宣称有TMP和IP还有压差光阑，高真空都不是问题，但是Zeiss和FEI都是前大开抽屉式的样品仓，不标配样品交换仓，这也就意味着每次样品仓都是从大气抽到高真空。但即使是边边角角里一点点的空气分子都有可能是影响到热场灯丝寿命的元凶。毕竟SEM买来是当工具用的，不是当宝贝供的，经过千百次的开关仓门，空气积累的影响不可忽视。而且，样品仓再大，样品台常规的承载能力也都在2-3kG左右，如果真要放这么大的钢铁样品进去，样品台也不一定走得动；如果样品要切割，何必过于在意样品仓的大小？

2.关于样品仓大小，Zeiss产品中XY轴有125mm移动范围的是高端热场级别的Ultra55系，但是LZ提到的FEI的XY移动范围在50mm的是中端Quanta250FEG，其高端热场Nano Nova 650的XY轴移动范围已到150mm；Hitachi的XY移动范围在50mm的是冷场S-4800，其高端热场SU-70的XY轴移动范围也在110mm；JEOL的XY移动范围在50mm的热场7600F-IA，其大样品仓的热场7600F-III的XY轴移动范围在140mmx80mm。所以首先，参与比较的SEM级别必须一致，否则整个对比将失去意义；其次，Zeiss的125mm行程不是最大的；第三，样品仓的内径-某轴向行程-安全保留空间=样品某轴向视野范围，所以XY的最大行程和样品的最大视野并不是一回事。对最终用户真正有用的应该是后者，否则样品一大，要看全整个表面，就得拿出来好多次移动基准位置，得不偿失。

3.因为BSE信号一般可以认为不受荷电干扰，且常规的BSE探头在高低真空下都可以成像，因此低真空BSE探头意义不是特别大。LZ主要做钢铁的，平时低真空模式甚至都用不上，如果以后遇到岩相样品，在高真空下用常规BSE探头也基本能够满足要求。所以，有没有低真空模式，其实并不是那么重要。

4.物镜光阑需要看最小光阑孔直径，这个关系到分辨率；和是否可调，这个关系到是采取牵引电子束来适应光阑孔的方式还是采取移动光阑孔保证电子束直线前进不受影响。至少日立的光阑孔就已经是4级可调了。。。关于光阑参数的选择，LZ在下面这个帖子里耐心找找，我写过一点参考意见~
    http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20110504/3285166/

5.窗口面积越大，计数率越高。换句话说打能谱出结果越快。至于准确性，只要样品不污染，不漂移，所有的热场打出来应该都差不多。

6.接地电阻FEI要求<1Ω，这个实在是太难做到了。但是如果真的那么难做到，那将成为用户端造成的成像障碍。

7.关于售后，每个厂商眼里自己的售后毫无疑问肯定是最好的。但是仪器信息网里面有几个帖子LZ可以参考一下
    http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20090408/1827888/
    http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20110418/3255114/
    需要比较的是收费价格与制度，包括先见人还是先花钱，工时如何计算，如何判定维修完成或者需跟进，等，以及既有用户的口碑。

以上，基于手头的资料，供LZ和各位同行参考~同时衷心希望大家能帮助我把现有的资料再进一步完善。毕竟，每款电镜都会有自己的特色和适应点，所以我们才需要各行各业的高手现身指点迷津~

原文由 asahi42(asahi42) 发表:
LZ果然还是要W灯丝啊~呵呵
那啥，Zeiss有常规样品仓的EVO MA18（其实这款电镜在蔡司主网上找不到，貌似只有国内才有，国外的都叫EVO MA15，LZ可以去向他们的销售了解一下）和大样品仓的EVO MA25；Hitachi有常规样品仓的S-3400N和大样品仓的S-3700N，FEI有常规样品仓的Quanta 450和大样品仓的Quanta 650，JEOL有常规样品仓的JSM-6510和大样品仓的JSM-6610。
各个型号的性能特点在各自官网上都有详述，也不能完全依赖参数指标，毕竟仪器的精准性、使用方便程度和耐用程度等软实力都还得看该型号仪器的市场占有量和用户口碑，LZ的调研工作任重而道远，但是范围肯定不会超过上面提到的几个型号，这点LZ放心~

原文由 asahi42(asahi42) 发表:
这几年也参与了不少标书，根据LZ您的提问，有以下几个观点供参考：

1.样品仓太大的话，高真空的取得和保持将会有一定难度。虽然现在各家都宣称有TMP和IP还有压差光阑，高真空都不是问题，但是Zeiss和FEI都是前大开抽屉式的样品仓，不标配样品交换仓，这也就意味着每次样品仓都是从大气抽到高真空。但即使是边边角角里一点点的空气分子都有可能是影响到热场灯丝寿命的元凶。毕竟SEM买来是当工具用的，不是当宝贝供的，经过千百次的开关仓门，空气积累的影响不可忽视。而且，样品仓再大，样品台常规的承载能力也都在2-3kG左右，如果真要放这么大的钢铁样品进去，样品台也不一定走得动；如果样品要切割，何必过于在意样品仓的大小？

2.关于样品仓大小，Zeiss产品中XY轴有125mm移动范围的是高端热场级别的Ultra55系，但是LZ提到的FEI的XY移动范围在50mm的是中端Quanta250FEG，其高端热场Nano Nova 650的XY轴移动范围已到150mm；Hitachi的XY移动范围在50mm的是冷场S-4800，其高端热场SU-70的XY轴移动范围也在110mm；JEOL的XY移动范围在50mm的热场7600F-IA，其大样品仓的热场7600F-III的XY轴移动范围在140mmx80mm。所以首先，参与比较的SEM级别必须一致，否则整个对比将失去意义；其次，Zeiss的125mm行程不是最大的；第三，样品仓的内径-某轴向行程-安全保留空间=样品某轴向视野范围，所以XY的最大行程和样品的最大视野并不是一回事。对最终用户真正有用的应该是后者，否则样品一大，要看全整个表面，就得拿出来好多次移动基准位置，得不偿失。

3.因为BSE信号一般可以认为不受荷电干扰，且常规的BSE探头在高低真空下都可以成像，因此低真空BSE探头意义不是特别大。LZ主要做钢铁的，平时低真空模式甚至都用不上，如果以后遇到岩相样品，在高真空下用常规BSE探头也基本能够满足要求。所以，有没有低真空模式，其实并不是那么重要。

4.物镜光阑需要看最小光阑孔直径，这个关系到分辨率；和是否可调，这个关系到是采取牵引电子束来适应光阑孔的方式还是采取移动光阑孔保证电子束直线前进不受影响。至少日立的光阑孔就已经是4级可调了。。。关于光阑参数的选择，LZ在下面这个帖子里耐心找找，我写过一点参考意见~
    http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20110504/3285166/

5.窗口面积越大，计数率越高。换句话说打能谱出结果越快。至于准确性，只要样品不污染，不漂移，所有的热场打出来应该都差不多。

6.接地电阻FEI要求<1Ω，这个实在是太难做到了。但是如果真的那么难做到，那将成为用户端造成的成像障碍。

7.关于售后，每个厂商眼里自己的售后毫无疑问肯定是最好的。但是仪器信息网里面有几个帖子LZ可以参考一下
    http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20090408/1827888/
    http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20110418/3255114/
    需要比较的是收费价格与制度，包括先见人还是先花钱，工时如何计算，如何判定维修完成或者需跟进，等，以及既有用户的口碑。

以上，基于手头的资料，供LZ和各位同行参考~同时衷心希望大家能帮助我把现有的资料再进一步完善。毕竟，每款电镜都会有自己的特色和适应点，所以我们才需要各行各业的高手现身指点迷津~

原文由 hitachi-demo(hitachi-demo) 发表:
以上几点谈的非常好啊，遗憾的是有个小硬伤，关于能谱窗口面积的。朝日兄说窗口面积越大，计数率越高（应该是输入计数率）。此话不假。但直接由此说“打能谱出结果越快”，恐怕就值得探讨了。我觉得，在这里，朝日兄混淆了输入计数率和有效计数率的概念哈。 因为对于能谱来说，窗口只是接收了Ｘ射线计数（这些计数称为输入计数“率”），但是并不是所有的输入计数“率”都能变成我们看到的谱图和结果（即有效计数“率”），因为输入计数“率”还需经过脉冲处理器的鉴别、放大、整形等过程才能形成有效计数“率”，而脉冲处理器处理信号的过程会有部份信号因为处理器忙碌而被丢弃即形成“死时间”，我们平时所看到的死时间百分之多少即指有百分之多少的信号被丢弃了，剩下的信号才是对我们真正有用的（形成谱图的）有效计数“率”。一个简单的公式：有效计数“率”＝输入计数“率”－输入计数“率”×死时间。所以大家的焦点往往聚焦在最浅显的窗口面积即输入计数率上（局部性问题），而忘了应该从整个系统的角度来考虑问题（有效计数率，整体性问题）。而且，窗口面积大了以后，也会有其他的问题，就不多说了。 所以， 个人觉得并不是面积越大越好，凡事都有两面性嘛。要不，为啥Si(Li)探头面积只有10mm2，30mm2？

原文由 hitachi-demo(hitachi-demo) 发表:

原文由 asahi42(asahi42) 发表:
这几年也参与了不少标书，根据LZ您的提问，有以下几个观点供参考：

1.样品仓太大的话，高真空的取得和保持将会有一定难度。虽然现在各家都宣称有TMP和IP还有压差光阑，高真空都不是问题，但是Zeiss和FEI都是前大开抽屉式的样品仓，不标配样品交换仓，这也就意味着每次样品仓都是从大气抽到高真空。但即使是边边角角里一点点的空气分子都有可能是影响到热场灯丝寿命的元凶。毕竟SEM买来是当工具用的，不是当宝贝供的，经过千百次的开关仓门，空气积累的影响不可忽视。而且，样品仓再大，样品台常规的承载能力也都在2-3kG左右，如果真要放这么大的钢铁样品进去，样品台也不一定走得动；如果样品要切割，何必过于在意样品仓的大小？

2.关于样品仓大小，Zeiss产品中XY轴有125mm移动范围的是高端热场级别的Ultra55系，但是LZ提到的FEI的XY移动范围在50mm的是中端Quanta250FEG，其高端热场Nano Nova 650的XY轴移动范围已到150mm；Hitachi的XY移动范围在50mm的是冷场S-4800，其高端热场SU-70的XY轴移动范围也在110mm；JEOL的XY移动范围在50mm的热场7600F-IA，其大样品仓的热场7600F-III的XY轴移动范围在140mmx80mm。所以首先，参与比较的SEM级别必须一致，否则整个对比将失去意义；其次，Zeiss的125mm行程不是最大的；第三，样品仓的内径-某轴向行程-安全保留空间=样品某轴向视野范围，所以XY的最大行程和样品的最大视野并不是一回事。对最终用户真正有用的应该是后者，否则样品一大，要看全整个表面，就得拿出来好多次移动基准位置，得不偿失。

3.因为BSE信号一般可以认为不受荷电干扰，且常规的BSE探头在高低真空下都可以成像，因此低真空BSE探头意义不是特别大。LZ主要做钢铁的，平时低真空模式甚至都用不上，如果以后遇到岩相样品，在高真空下用常规BSE探头也基本能够满足要求。所以，有没有低真空模式，其实并不是那么重要。

4.物镜光阑需要看最小光阑孔直径，这个关系到分辨率；和是否可调，这个关系到是采取牵引电子束来适应光阑孔的方式还是采取移动光阑孔保证电子束直线前进不受影响。至少日立的光阑孔就已经是4级可调了。。。关于光阑参数的选择，LZ在下面这个帖子里耐心找找，我写过一点参考意见~
    http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20110504/3285166/

5.窗口面积越大，计数率越高。换句话说打能谱出结果越快。至于准确性，只要样品不污染，不漂移，所有的热场打出来应该都差不多。

6.接地电阻FEI要求<1Ω，这个实在是太难做到了。但是如果真的那么难做到，那将成为用户端造成的成像障碍。

7.关于售后，每个厂商眼里自己的售后毫无疑问肯定是最好的。但是仪器信息网里面有几个帖子LZ可以参考一下
    http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20090408/1827888/
    http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20110418/3255114/
    需要比较的是收费价格与制度，包括先见人还是先花钱，工时如何计算，如何判定维修完成或者需跟进，等，以及既有用户的口碑。

以上，基于手头的资料，供LZ和各位同行参考~同时衷心希望大家能帮助我把现有的资料再进一步完善。毕竟，每款电镜都会有自己的特色和适应点，所以我们才需要各行各业的高手现身指点迷津~

以上几点谈的非常好啊，遗憾的是有个小硬伤，关于能谱窗口面积的。朝日兄说窗口面积越大，计数率越高（应该是输入计数率）。此话不假。但直接由此说“打能谱出结果越快”，恐怕就值得探讨了。我觉得，在这里，朝日兄混淆了输入计数率和有效计数率的概念哈。 因为对于能谱来说，窗口只是接收了Ｘ射线计数（这些计数称为输入计数“率”），但是并不是所有的输入计数“率”都能变成我们看到的谱图和结果（即有效计数“率”），因为输入计数“率”还需经过脉冲处理器的鉴别、放大、整形等过程才能形成有效计数“率”，而脉冲处理器处理信号的过程会有部份信号因为处理器忙碌而被丢弃即形成“死时间”，我们平时所看到的死时间百分之多少即指有百分之多少的信号被丢弃了，剩下的信号才是对我们真正有用的（形成谱图的）有效计数“率”。一个简单的公式：有效计数“率”＝输入计数“率”－输入计数“率”×死时间。所以大家的焦点往往聚焦在最浅显的窗口面积即输入计数率上（局部性问题），而忘了应该从整个系统的角度来考虑问题（有效计数率，整体性问题）。而且，窗口面积大了以后，也会有其他的问题，就不多说了。 所以， 个人觉得并不是面积越大越好，凡事都有两面性嘛。要不，为啥Si(Li)探头面积只有10mm2，30mm2？