主题:【求助】分子泵转速不稳定怎么办?

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无机麦地
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分子泵转速不稳定,急求办法解决。。
或者提供可能的故障原因也可以,先感谢了

还有一个就是分子泵的水冷,对循环水有什么要求么?
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儒雅凤
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涡轮分子泵抽气系统的常见故障及排除方法见表1。

表1 涡轮分子泵系统常见故障及排除方法

该帖子作者被版主 dyann2积分, 2经验,加分理由:应助奖励~
yuduoling
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原文由 yuduoling(yuduoling) 发表:
分子泵的水冷最好使用除盐水

用的是去离子水
无机麦地
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原文由 儒雅凤(liwei7893) 发表:
分子泵的冷却循环水,应该为软水吧。

理论上的故障原因是有这么多。
排除起来一个个还是较困难的啊
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