主题：【第六届原创】跟随SEM工程师检修各种坑爹的小毛病

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发表于：2011/07/01 13:34:12 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

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问题一：在上下移动Z轴时，Z轴机械调整处有“咔咔”的响声

在正常使用软件控制或机械控制移动Z轴时，是不会有响声的。经过将X、Y、Z、R机械控制处（图1.1）罩拆下后发现，Z轴的内部带动轴连动装置的某处已经松脱（图1.2），但是仍能勉强移动。也就是我们还可以继续这样使用，直到某一天零件突然卡死，Z轴动不了，就只能更换此零件了。

图1.1 未拆卸的X、Y、Z、R控制处

图1.2 红色箭头所指处，Z轴的内部带动轴连动装置部分已经松脱

后来想了个临时的办法，用AB胶把松脱的部分给粘上，就可以继续用了。

图1.3 未粘之前，注意看Y轴（上）和Z轴（下）黑线的差别，Y轴的螺纹线是整齐的，而Z轴的螺纹线已经错位了。Z轴转动时会发出响声，有时甚至会“滑丝”，导致暂时性的转不动；Y轴转动时只会发出细微的顺畅转动的声音。

图1.4 工程师正在用AB胶粘Z轴连动部分

图1.5 AB胶，只有把A胶和B胶混合在一起才能有粘连物品

既然这只是临时的办法，非长久之计，那么最终还是要把这个轴换掉的。再后来，厂家发来的货和我们用的不匹配，于是我们把不常用的R轴（Rotation旋转）和Z轴换了一下，把AB胶粘过的用在R轴上，R轴好的用在Z轴上~问题解决！

问题二：图像漂移

有相关经验的人会知道，图像漂移通常是由接地不良引起的。我们曾经考虑过是样品与样品台之间的不牢固，或者样品台与底座之间接触不良好，但对不同的样品，并非每次都出现图像漂移现象，所以我们美誉考虑过仪器本身的接触不良！经工程师检查，结果是底座的一根接地线断了！于是工程师用锡焊将断了的线接好了。

图2.1 工程师正在拆样品室内的底座

图2.2 俯视图，断了的线就是被夹子夹住那根

图2.3 工程师用锡焊焊接断了的线，还在冒烟呢！

问题三：灯丝寿命将尽，图像分辨率下降，衬度降低。

场发射型扫描电镜的灯丝寿命比钨灯丝寿命长，通常质保1年，一般会在1年至2年之间寿终正寝。从装机算起，我们的SEM已经将近2年，但装机之后的最初半年左右时间，使用次数比较少，所以现在还能继续用。当然，分辨率跟当年是没法比了。随着灯丝使用时间增加，灯丝被氧化程度变大，发射的电子数减少，信号减弱。这是一个循序渐进的过程，知道某一天，没有信号，眼前一片黑暗。为了增大图像衬度，工程师将光阑调大了。调整之后，衬度明显提高了，但是，分辨率是不会再提高了。

图3.1 调整之前的光阑，从侧面看，好像指示着5那一档

图3.2 调整之前的光阑，从这个角度看，就可以很清楚看到，实际上指示着6那一档

图3.3 调整后的光阑，指示着3那一档。

不知大家注意到没有，光阑原来位于 “6”档，调整后位于“3”档，可我清楚地记得工程师说的是将光阑“调大”了，为什么呢？

问题四：样品室不能一关到底，要使劲一按才能关好。

这是一个小问题，不过确实给操作带来了不便，趁着工程师好不容易来一趟，索性一起解决掉。先来看看关门的机制，门上某处有一柱状物（见图4.1），与门连接这边对应位置有一洞，洞里靠上有一弹珠（见图4.2）。当柱状物进入洞之后，弹珠会被向上挤压，由于柱状物头部之后的位置直径比头部小，头部完全进入之后弹珠会再次弹出，掐住柱状物，于是门被关上了（描述起来好复杂啊！）。了解了关门的机制之后，问题便容易解释了，柱状物没法把弹珠顶上去，需要人使劲一按才能顺利“进洞”！工程师先尝试将弹珠上方的螺丝拧松，貌似螺丝太紧，无果。于是改将柱状物拧下，用工具将头部打磨，重新装好。然后关门又跟新买的一样顺利啦！