主题:【原创】各种显微镜的特点及应用

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xgq_2001
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名称

检测信号

样品

分辨率/nm

基本应用

透射电子显微镜(TEM

透射电子和衍射电子

薄膜和复型膜

点分辨率0.3~0.5, 晶格分辨率0.1~0.2



1形貌分析:显微组织、晶体缺陷

2晶体结构分析;

3成分分析(配附件)

扫描电子显微镜(SEM

二次电子、背散射电子、吸收电子

固体

6~10



1形貌分析:显微组织、断口形貌;2成分分析(配附件);

3结构分析(配附件);

4断裂过程动态研究

扫描隧道显微镜(STM

隧道电流

固体(有一定导电性)

原子级

垂直0.01

横向0.1



1表面形貌与结构:表面原子三维轮廓;

2表面力学行为、表面物理化学研究

原子力显微镜

AFM

隧道电流

固体(导体、半导体、绝缘体)

原子级



1表面形貌与结构分析;

2表面原子间力与表面力学性质的测定

场发射显微镜

FEM

场发射电子

针尖状(电极)

2



1晶面结构分析;

2晶面吸附、脱附和扩散等分析

场离子显微镜

FIM

正离子

针尖状(电极)

当尖半径为100nm

室温0.55

低温0.15



1形貌分析:直接观察原子组态;2表面重构、扩散等分析
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fly-fall
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原文由 xgq_2001(xgq_2001) 发表:

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检测信号

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分辨率/nm

基本应用

透射电子显微镜(TEM

透射电子和衍射电子

薄膜和复型膜

点分辨率0.3~0.5, 晶格分辨率0.1~0.2



1形貌分析:显微组织、晶体缺陷

2晶体结构分析;

3成分分析(配附件)

扫描电子显微镜(SEM

二次电子、背散射电子、吸收电子

固体

6~10



1形貌分析:显微组织、断口形貌;2成分分析(配附件);

3结构分析(配附件);

4断裂过程动态研究

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隧道电流

固体(有一定导电性)

原子级

垂直0.01

横向0.1



1表面形貌与结构:表面原子三维轮廓;

2表面力学行为、表面物理化学研究

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原子级



1表面形貌与结构分析;

2表面原子间力与表面力学性质的测定

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针尖状(电极)

2



1晶面结构分析;

2晶面吸附、脱附和扩散等分析

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当尖半径为100nm

室温0.55

低温0.15



1形貌分析:直接观察原子组态;2表面重构、扩散等分析


楼主这是普及电镜知识来了? FEM还没见过呢。。。楼主可否再说说
threer
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