名称 | 检测信号 | 样品 | 分辨率/nm | 基本应用 |
透射电子显微镜(TEM) | 透射电子和衍射电子 | 薄膜和复型膜 | 点分辨率0.3~0.5, 晶格分辨率0.1~0.2 | 1形貌分析:显微组织、晶体缺陷 2晶体结构分析; 3成分分析(配附件) |
扫描电子显微镜(SEM) | 二次电子、背散射电子、吸收电子 | 固体 | 6~10 | 1形貌分析:显微组织、断口形貌;2成分分析(配附件); 3结构分析(配附件); 4断裂过程动态研究 |
扫描隧道显微镜(STM) | 隧道电流 | 固体(有一定导电性) | 原子级 垂直0.01, 横向0.1 | 1表面形貌与结构:表面原子三维轮廓; 2表面力学行为、表面物理化学研究 |
原子力显微镜 (AFM) | 隧道电流 | 固体(导体、半导体、绝缘体) | 原子级 | 1表面形貌与结构分析; 2表面原子间力与表面力学性质的测定 |
场发射显微镜 (FEM) | 场发射电子 | 针尖状(电极) | 2 | 1晶面结构分析; 2晶面吸附、脱附和扩散等分析 |
场离子显微镜 (FIM) | 正离子 | 针尖状(电极) | 当尖半径为100nm时 室温0.55 低温0.15 | 1形貌分析:直接观察原子组态;2表面重构、扩散等分析 |
原文由 xgq_2001(xgq_2001) 发表:
名称
检测信号
样品
分辨率/nm
基本应用
透射电子显微镜(TEM)
透射电子和衍射电子
薄膜和复型膜
点分辨率0.3~0.5, 晶格分辨率0.1~0.2
1形貌分析:显微组织、晶体缺陷
2晶体结构分析;
3成分分析(配附件)扫描电子显微镜(SEM)
二次电子、背散射电子、吸收电子
固体
6~10
1形貌分析:显微组织、断口形貌;2成分分析(配附件);
3结构分析(配附件);
4断裂过程动态研究扫描隧道显微镜(STM)
隧道电流
固体(有一定导电性)
原子级
垂直0.01,
横向0.1
1表面形貌与结构:表面原子三维轮廓;
2表面力学行为、表面物理化学研究原子力显微镜
(AFM)
隧道电流
固体(导体、半导体、绝缘体)
原子级
1表面形貌与结构分析;
2表面原子间力与表面力学性质的测定场发射显微镜
(FEM)
场发射电子
针尖状(电极)
2
1晶面结构分析;
2晶面吸附、脱附和扩散等分析场离子显微镜
(FIM)
正离子
针尖状(电极)
当尖半径为100nm时
室温0.55
低温0.15
1形貌分析:直接观察原子组态;2表面重构、扩散等分析