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主题：【求助】束流大小和探针电流大小的关系

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phylla

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发表于：2011/07/24 21:31:00 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

Hitachi S-4800冷场扫描电镜
使用扫描电镜进行拍照的时候，参数设置为：加速电压10kv，发射电流10uA
根据工程师给的图表，可以估计，探针电流大小在1~2 X 10-11 A

那么，此时，束流大小大概多少？因为想计算电子束在样品表面的剂量（dose）

非常感谢~！

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2011/7/24 21:41:08 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

束流不就是探针电流吗?一个叫beam，一个叫probe。

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fengyonghe

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2011/7/24 22:01:47 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 phylla(phylla) 发表:
Hitachi S-4800冷场扫描电镜
使用扫描电镜进行拍照的时候，参数设置为：加速电压10kv，发射电流10uA
根据工程师给的图表，可以估计，探针电流大小在1~2 X 10-11 A
---------------------------------------------这一项就是束流-----------------------------------
那么，此时，束流大小大概多少？因为想计算电子束在样品表面的剂量（dose）

非常感谢~！

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asahi42

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2011/7/25 9:01:41 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
原文由 phylla(phylla) 发表:
Hitachi S-4800冷场扫描电镜
使用扫描电镜进行拍照的时候，参数设置为：加速电压10kv，发射电流10uA
根据工程师给的图表，可以估计，探针电流大小在1~2 X 10-11 A
---------------------------------------------这一项就是束流-----------------------------------
那么，此时，束流大小大概多少？因为想计算电子束在样品表面的剂量（dose）

非常感谢~！

的确是这样的~

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