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主题：【求助】放大倍数增大时电子束的变化

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胖胖熊
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发表于：2014/04/14 21:19:31 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
放大倍数增大时，电子束，束斑束流是怎么变化的？
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2014/4/15 8:44:25 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
放大倍数增大，相应的扫描区域变小，单位面积上扫过的电荷更多。从以上推算，应该是电子束被缩的更小。束斑应该和这没关系，应该是不变。束流应该是不变，但是扫到样品上的单位面积上的电荷应该是增多的，都是推想，不知道对不对。
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胖胖熊
v2719209
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2014/4/15 17:58:03 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 gaominghen(gaominghen) 发表:
放大倍数增大，相应的扫描区域变小，单位面积上扫过的电荷更多。从以上推算，应该是电子束被缩的更小。束斑应该和这没关系，应该是不变。束流应该是不变，但是扫到样品上的单位面积上的电荷应该是增多的，都是推想，不知道对不对。


电子束缩小束斑怎么会不变呢？两者扫描关系？
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asahi42
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2014/4/15 19:37:16 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 胖胖熊(v2719209) 发表:
放大倍数增大时，电子束，束斑束流是怎么变化的？


放大倍数增加减少改变的只是扫描线圈的电流强度，电子束和束斑基本不变化。
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bybls_74
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2014/4/17 10:35:33 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
束斑电流选定后，束斑大小应该就不变了，放大倍数的改变应该也不会影响大这两个参数，只是在放大倍数很高时，可以降低束斑大小，以提高扫描分辨率。
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