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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：【求助】请问一下扫描电镜的磁透镜可否用永磁体代替？

浏览0 回复5 电梯直达

sunzhaod

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发表于：2010/02/11 13:47:11 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

本人超级菜鸟！没用过电镜，只是对扫描电镜的原理感兴趣，最近有个想法，扫描电镜中的磁透镜采用钕铁硼永磁体，钕铁硼的剩磁可达几T，如果再做一个合适的极靴，或采用极靴的原理做一个磁场集中器，那磁感应强度估计高出很多，这样不仅比电磁透镜的效率高，还几乎不耗能量，唯一缺憾是失去了可调性，但是可以通过调整电子束加速电压或调解磁透镜位置来调解焦距，虽然可调性降低但是可以做成微可调的，分辨率固定的（保持在最大分辨率）。

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2010/2/11 17:36:55 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

扫描电镜使用的是轴旋转对称非均匀磁场电磁透镜。永磁体是不行的。

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lysldl

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2010/2/11 22:36:22 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

不能代替的

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蓝莓口香糖

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2010/2/12 23:12:50 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

从原理上来说并不是绝对不可能。EELS中使用的能量过滤器就是使用扇形磁铁聚焦，电磁线圈辅助调节。但是要达到目前SEM电磁线圈的性能，对磁铁的加工精度要求太高，工艺上无法实现。

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Last edit by drizzlemiao

maxin2009

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2010/2/20 10:48:52 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

谢谢，受教了

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Frinight

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2010/3/3 16:47:09 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 sunzhaod(sunzhaod) 发表:
本人超级菜鸟！没用过电镜，只是对扫描电镜的原理感兴趣，最近有个想法，扫描电镜中的磁透镜采用钕铁硼永磁体，钕铁硼的剩磁可达几T，如果再做一个合适的极靴，或采用极靴的原理做一个磁场集中器，那磁感应强度估计高出很多，这样不仅比电磁透镜的效率高，还几乎不耗能量，唯一缺憾是失去了可调性，但是可以通过调整电子束加速电压或调解磁透镜位置来调解焦距，虽然可调性降低但是可以做成微可调的，分辨率固定的（保持在最大分辨率）。

加速电压，束流设定等固定的话，聚光镜的永久磁铁采用是完全可以。

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