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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：【讨论】聚光镜电流与二次电子产额等的关系，请指导。

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白水山石

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发表于：2011/08/19 17:27:26 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

一、聚光镜电流越小，二次电子产额越高，是聚光镜电流对二次电子有排斥？
二、灯丝电流应是越大，二次电子产额越高吧？
三、聚光镜电流越小，像颗粒越细？。
四、聚光镜电流越小，信号越强？。
五、聚光镜电流越小，电子束流越大？。
六、一个最基本的问题：聚光镜电流在电镜上如何调节？我们平时调节的只有灯丝的电流，好象没调节过聚光镜电流啊？
谢谢您的指导！

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2011/8/19 20:01:45 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 白水山石(tianzhen) 发表:
一、聚光镜电流越小，二次电子产额越高，是聚光镜电流对二次电子有排斥？
二、灯丝电流应是越大，二次电子产额越高吧？
三、聚光镜电流越小，像颗粒越细？。
四、聚光镜电流越小，信号越强？。
五、聚光镜电流越小，电子束流越大？。
六、一个最基本的问题：聚光镜电流在电镜上如何调节？我们平时调节的只有灯丝的电流，好象没调节过聚光镜电流啊？
谢谢您的指导！

LZ啊，工程师在安装培训的时候这些都不说的么？？
一、没这讲法，二次电子产额和两个主要因素有关，一个是加速电压，一个是样品表面凹凸形状。通俗来讲，在低加速电压下（<5kV），二次电子有一个发射高峰，然后加速电压越高，二次电子发射率越低，直至某一极值。样品表面某点切线和电子束交角越大，二次电子产额越大。
二、没固定的关系，理由见一。
三、不是，恰恰相反。因为聚光镜电流越小，束流越大。
四、是的。
五、是的。
六、可以调节。在日立的机器上，一般叫“Probe Current”；在FEI的机器上，一般叫“Spot Size”，别的没用过，不知道。。。

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fengyonghe

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2011/8/20 11:14:45 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

一、聚光镜电流越小，二次电子产额越高，是聚光镜电流对二次电子有排斥？
是不是问“束斑直径越大二次电子产额越高？是。是聚光镜电流对二次电子有排斥？绝对不是
二、灯丝电流应是越大，二次电子产额越高吧？
是不是问探针电流越大二次电子产额越高？是
三、聚光镜电流越小，像颗粒越细？。
是不是问探针电流越大，像素颗粒越细？这和第一个问题是一样的。。。
四、聚光镜电流越小，信号越强？。
这和第一个问题是一样的。。。
五、聚光镜电流越小，电子束流越大？。
这和第一个问题是一样的。。。
六、一个最基本的问题：聚光镜电流在电镜上如何调节？我们平时调节的只有灯丝的电流，好象没调节过聚光镜电流啊？
你调节的是探针电流，灯丝电流是加热灯丝的电流，只能调在欠饱和状态，不能任意调。
谢谢您的指导！

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