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Capable of both minute area analysis and high sesitivity anallysis.
-Minute area analysis:1.2mm X-ray irradiation diameter and filters for simultaneously analyzing five elements.
-High sensitivity annalysis: 3mm X-ray irradiation diameter and dual filter system.
以上是来自日本厂家的一段产品介绍,大致意思是说可以做到1.2mm和3mm的光斑大小(这是我见过的最小的),还说到了滤光系统。具体采用的什么技术,我还是很清楚,估计要采用类似一个导管一样的装置,否则怎么能做到这么小呢?
顺被问一下,楼主要测试什么样品,有什么测试要求呢?
本公司是生产平板玻璃的,玻璃缺陷非常小,我们想测试缺陷的元素成分,以便判断缺陷的产生位置。
XRF常用在玻璃(融片法)测试玻璃种主要及次要元素如铝、钙、镁、铁、钛、钾、钠、砷等,关于楼主所说的缺陷部分元素分析,我之前没有遇到过(才疏学浅,见谅)。楼主是专业人士,能否告知:通常情况下缺陷是有哪些元素引起的?这些元素含量范围在多少?如果能确定以上两个问题,基本可作为依据判断是否能用微区XRF进行测试。
我也不算专业,只是略知一二。通常构成缺陷的元素有锡、锆、硫、钠、铝、硅等,含量范围(由于缺陷占测试面的大小不定)不好确定。
1mm区域内的Sn、Zr好办,S、Na、Al、Si就有点麻烦,应为这几个元素属于轻元素,荧光产额低,发光弱,而且特征能量小,穿透能力也弱,测试难度比较大。不过尚可一试。
提两条建议:
1. 使用带真空的EDXRF设备,或者直接WDXRF分析一下看看,WDXRF的功率大,分辨率高,可以提供更好的检出下限。
2. 尝试使用电镜上的能谱,SEM-EDS,分析区域可以小到um量级,不过这个只能定性,定量的结果不太靠谱,特别容易受到二氧化碳的沾污。