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ID:fob204
行业:其他
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ID:ssh110
ID:hansyangts
原文由 fob204 发表:如题,请问有这方面的高手吗?测得的结果误差有多大,影响误差的因素有哪些?
原文由 hansyangts 发表:原文由 fob204 发表:如题,请问有这方面的高手吗?测得的结果误差有多大,影响误差的因素有哪些?制成台阶层状样品后测试,一般可得到理想结果。但要注意台阶的高度,要适应扫描管Z方向的测量范围。另外,一定要精确的对扫描管Z方向进行标定,这样才能尽可能的减小误差。
ID:kerener_99
ID:hitttr
原文由 kerener_99 发表:我做的是溅射薄膜,特意做了有台阶的样品,而且也用AFM对样品进行了扫描,不知道具体要怎么分析样品的厚度,请指教。
ID:pzg16
ID:zt_777
原文由 hitttr 发表:原文由 kerener_99 发表:我做的是溅射薄膜,特意做了有台阶的样品,而且也用AFM对样品进行了扫描,不知道具体要怎么分析样品的厚度,请指教。如果你已经根据测试的目的做成了台阶样品,那么如果你能使用AFM将这些台阶扫描下来基本上就ok了,如果你能确定一个台阶就是一层薄膜的厚度,那么在分析软件中,垂直于台阶作一个界面分析就可以得到台阶的高度,即这层薄膜的厚度了。个人浅见,如果错误请指正
ID:wxmtsinghua
ID:lami