主题:请问无水酒精能否擦净芯片样品表面手印污染,多谢

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ligroin
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昨天接了一个样,是一个芯片材料,可那个哥们是用手摸来摸去的,上面全是手印他要测表面元素相对含量,我想知道如果用无水酒精擦拭能否完全去除表面污物还是擦完仍要刻蚀一下。多谢了!
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wangwenhui
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无水酒精中还可能含有很少量的高沸点的物质,用它擦过后表面可能会留有少量的油状物
chengxps
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antill
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zhuyongfa
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最好先用丙酮超声处理,然后再用无水乙醇处理;
假如样品不怕溅射的话,在分析时还应该溅射一下结果会更真实些
peem
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请教zhu老师一下,溅射时是否会发生选择溅射的问题?什么情况容易发生,什么情况不容易发生?
一般情况如何解决这个问题?
还有溅射离子质量,能量,以及溅射离子电流对样品表面溅射速率的关系有无数据可以查询(是否有一般规则?)

原文由 zhuyongfa 发表:
最好先用丙酮超声处理,然后再用无水乙醇处理;
假如样品不怕溅射的话,在分析时还应该溅射一下结果会更真实些
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