主题:【求助】扫描电镜在冬天启动困难

浏览0 回复25 电梯直达
cocoline
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原文由 unht(unht) 发表:
启动比较困难,而且在启动初总是频繁的跳!是指PUMP的时候吗?如果是,我们也遇到过,后来换了块电路板就OK了

就是一开机时,刚开始转动的泵跳闸,停止转动,你们也是这种情况吗?换的是什么电路板啊,主板么?谢谢了!
cocoline
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原文由 小M Orz=3(mitchell_dyzy) 发表:
你所说的"跳"是指什么?

是指刚开始转动的泵发生跳闸,停止转动了,再重启,再跳闸。
maxin2009
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原文由 huihui5973(huihui5973) 发表:
原文由 unht(unht) 发表:
启动比较困难,而且在启动初总是频繁的跳!是指PUMP的时候吗?如果是,我们也遇到过,后来换了块电路板就OK了

就是一开机时,刚开始转动的泵跳闸,停止转动,你们也是这种情况吗?换的是什么电路板啊,主板么?谢谢了!


这种情况不会是主控板的,您测一下,开机之后几秒钟 RP停转,是每一次都是相同的时间吗?如果是,那就是反馈RP正常信号的接口松动,或者内部信号反馈电路需要换电子元件,如果每次停转的时间不固定,那就要看RP泵是否过热,如果RP过热那就是RP泵本身的问题,如果RP本身正常,而RP的100V供电一开始也正常,但是RP忽然断了,那就要看RP的供电电路是否有电子元件损坏了。您可以把软件打开,看看电镜控制软件的各功能是否正常,真空的功能肯定是废了,但是可以调试亮度和对比度,看看加速电压,束斑直径能不能改变,如果都正常,那就可以  初步  判断 主控板 是否故障了,应该是简单的电路维修。
fengyonghe
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“真空的功能肯定是废了,但是可以调试亮度和对比度,看看加速电压,束斑直径能不能改变,如果都正常,那就可以  初步  判断 主控板 是否故障了,应该是简单的电路维修。”
你是说没有真空也可以开机吗?
maxin2009
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原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
“真空的功能肯定是废了,但是可以调试亮度和对比度,看看加速电压,束斑直径能不能改变,如果都正常,那就可以  初步  判断 主控板 是否故障了,应该是简单的电路维修。”
你是说没有真空也可以开机吗?


可以的,在这种状况下,机器真空系统停了,但是 电力系统供应还在,EOS还能用,探头系统还能用,SEI图像的亮度是靠调节前置放大器的放大补偿来调节的,EOS电路正常,信号采集正常,高压控制电路正常,上述调节和设置都能改变,话说这个已经实践过了。还有一点,用户说的应该是“开机几秒后RP停转“吧,,这种状况,这个时候”EVAC“"VENT"的LED灯会同时亮。
maxin2009
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“真空的功能肯定是废了,但是可以调试亮度和对比度,看看加速电压,束斑直径能不能改变,如果都正常,那就可以  初步  判断 主控板 是否故障了,应该是简单的电路维修。”
你是说没有真空也可以开机吗?


停机分两种,一种是开机后瞬间掉闸,另一种是某系统发生故障,但其他系统没问题,例如真空系统漏气,机器死活抽不到READY状态了,真空系统可能会在几分钟后退回到抽扩散泵背压的状态,这時系统报错,设备停在这个状态了,这也是一种停机。
cocoline
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原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
“真空的功能肯定是废了,但是可以调试亮度和对比度,看看加速电压,束斑直径能不能改变,如果都正常,那就可以  初步  判断 主控板 是否故障了,应该是简单的电路维修。”
你是说没有真空也可以开机吗?


可以的,在这种状况下,机器真空系统停了,但是 电力系统供应还在,EOS还能用,探头系统还能用,SEI图像的亮度是靠调节前置放大器的放大补偿来调节的,EOS电路正常,信号采集正常,高压控制电路正常,上述调节和设置都能改变,话说这个已经实践过了。还有一点,用户说的应该是“开机几秒后RP停转“吧,,这种状况,这个时候”EVAC“"VENT"的LED灯会同时亮。


我们的设备是用钥匙开机2~3秒就跳闸,EVAC和VENT灯同时闪烁,比较好的情况就是,用钥匙开机十几秒跳闸。总体来说,持续时间不太一致,有的时候时间能维持的更长一些,据我们总结,持续时间越长,能够保持开机不跳闸的几率越大。

但是到夏天这种情况就不存在了,如果是电路故障的话,为什么到夏天就没问题了呢,真的是很奇怪!
maxin2009
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原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
“真空的功能肯定是废了,但是可以调试亮度和对比度,看看加速电压,束斑直径能不能改变,如果都正常,那就可以  初步  判断 主控板 是否故障了,应该是简单的电路维修。”
你是说没有真空也可以开机吗?


可以的,在这种状况下,机器真空系统停了,但是 电力系统供应还在,EOS还能用,探头系统还能用,SEI图像的亮度是靠调节前置放大器的放大补偿来调节的,EOS电路正常,信号采集正常,高压控制电路正常,上述调节和设置都能改变,话说这个已经实践过了。还有一点,用户说的应该是“开机几秒后RP停转“吧,,这种状况,这个时候”EVAC“"VENT"的LED灯会同时亮。


我们的设备是用钥匙开机2~3秒就跳闸,EVAC和VENT灯同时闪烁,比较好的情况就是,用钥匙开机十几秒跳闸。总体来说,持续时间不太一致,有的时候时间能维持的更长一些,据我们总结,持续时间越长,能够保持开机不跳闸的几率越大。

但是到夏天这种情况就不存在了,如果是电路故障的话,为什么到夏天就没问题了呢,真的是很奇怪!


按理说电子元件故障的高发期是在夏季,我也觉得很奇怪,如果是温度太高导致电子元件坏了,从而导致电路不稳定,最后使机械泵停转,那一切都说得通了,但是看情形好像正相反。JSM-6360是这样的,RP1,RP2,DP有一个没能正常开启,设备都会停机,DP故障的话设备直接掉闸。我觉得吧,还得是工程师到现场查查吧,现在咱们坐在这各种猜各种分析是没用的。。。。。。
fengyonghe
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原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
“真空的功能肯定是废了,但是可以调试亮度和对比度,看看加速电压,束斑直径能不能改变,如果都正常,那就可以  初步  判断 主控板 是否故障了,应该是简单的电路维修。”
你是说没有真空也可以开机吗?


可以的,在这种状况下,机器真空系统停了,但是 电力系统供应还在,EOS还能用,探头系统还能用,SEI图像的亮度是靠调节前置放大器的放大补偿来调节的,EOS电路正常,信号采集正常,高压控制电路正常,上述调节和设置都能改变,话说这个已经实践过了。还有一点,用户说的应该是“开机几秒后RP停转“吧,,这种状况,这个时候”EVAC“"VENT"的LED灯会同时亮。

真空坏了还能开机我觉得不好理解!
fengyonghe
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“真空的功能肯定是废了,但是可以调试亮度和对比度,看看加速电压,束斑直径能不能改变,如果都正常,那就可以  初步  判断 主控板 是否故障了,应该是简单的电路维修。”
你是说没有真空也可以开机吗?


停机分两种,一种是开机后瞬间掉闸,另一种是某系统发生故障,但其他系统没问题,例如真空系统漏气,机器死活抽不到READY状态了,真空系统可能会在几分钟后退回到抽扩散泵背压的状态,这時系统报错,设备停在这个状态了,这也是一种停机。

这个回答好理解,这与你前一个回答是矛盾的吧?他开机一会就跳了,真空还没抽上去,这时还能加高压我感觉这是不可能的。
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2011/12/9 0:07:46 Last edit by fengyonghe
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