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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：【求助】镀膜厚度怎样测量准确?

浏览0 回复10 电梯直达

dinel2004

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发表于：2011/03/04 17:34:13 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

悬赏金额：20积分状态：已解决

请问专家:我在SEM下测量镀膜厚度,怎样放置样品才不至于倾斜,我的SEM好象不能旋转?请帮忙!

推荐答案：小M回复于2011/03/08

把样品竖起来，用夹具夹住，有那种夹的样品台

补充答案：

fengyonghe回复于2011/03/05

在橡皮泥中参入适量银粉（金粉最好）使其导电，有几十K的电阻就可以使用。样品可以任意方向插入橡皮泥中。我们一直使用这个方法。

amdk7回复于2011/03/07

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2011/3/5 17:56:46 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

在橡皮泥中参入适量银粉（金粉最好）使其导电，有几十K的电阻就可以使用。样品可以任意方向插入橡皮泥中。我们一直使用这个方法。

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asahi42

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2011/3/5 23:29:58 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

有截面样品台的呀...

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unht

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2011/3/6 16:33:19 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

不会动不了吧...你可以使用其他仪器测量，比如AFM，纳米压痕仪也可以...

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dinel2004

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2011/3/7 12:06:53 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
在橡皮泥中参入适量银粉（金粉最好）使其导电，有几十K的电阻就可以使用。样品可以任意方向插入橡皮泥中。我们一直使用这个方法。

谢谢!不知道我们的XL30 ESEM有没有倾斜样品的功能?我怎么找不到?

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小不董

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2011/3/7 13:32:31 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 dinel2004(dinel2004) 发表:
原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
在橡皮泥中参入适量银粉（金粉最好）使其导电，有几十K的电阻就可以使用。样品可以任意方向插入橡皮泥中。我们一直使用这个方法。

谢谢!不知道我们的XL30 ESEM有没有倾斜样品的功能?我怎么找不到?

要达到倾斜目的，首先要你的SEM有倾斜马达，一般是没有配置的。你看看，有个DFC（好像是这么写的）按钮，是否灰色，如果是灰色，说明没有这个马达的，不能倾斜。

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