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主题：【已应助】求助文献1篇

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wxwanglai
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发表于：2011/12/02 09:00:04 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
【序号】：1
【作者】：Sun Jin Yun
【题名】：Dependence of atomic layer-deposited Al2O3 films characteristics on growth temperature and Al precursors of Al(CH3)3 and AlCl3
【期刊】：Journal of Vacuum Science & Technology A
【年、卷、期、起止页码】:Volume 15, Issue 6,page 2993 (1997)
【全文链接】：http://avspublications.org/jvsta/resource/1/jvtad6/v15/i6/p2993_s1?isAuthorized=no
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2011/12/2 10:47:03 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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